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 FFU ファン付HEPAフィルターユニット
 エリアに合わせたクリーン空間を構築する
クリーン空間を自由自在に演出する
シーズシーのFFU
CS-CUTE Aシリーズ 処理風量1、3、5立米/分の3種
CS-CUTE Cシリーズ
処理風量7、10、13、17立米/分の4種
大型
大風量を処理するための大型FFU
クリーンウォール
自立パネル型FFU
使用ガイド
 FFUとは?
 FFUの使い方〜設置について
 クリーン化のために〜使用事例
 FFUの使い方
 FFUの使い方〜ここに注意!
 一般の空気清浄機との違い
FFUとは?
FFUとは、ファンフィルターユニットの略です。その名の通り、ファンとフィルターをセットにパッケージした商品の総称であり、クリーン化には欠かせない空気清浄機能を担う装置群です。シーズシーでは主にメインフィルターとしてHEPAフィルター(0.3μm径のPAO粒子を定格風量で通したときその99.97%以上を捕集するという高性能フィルター)を搭載したFFUをラインナップしております。
FFUは主に処理風量と設置方法から以下のように分類されています。
【NSF / CUTE
シリーズ】
 
上部から空気を吸い込みフィルターにより清浄化された空気を底面から吹出すFFU。クリーンルーム、ブース、ベンチの空気清浄用途のほか、各種装置上にも搭載され装置内の清浄化を行います。非常にコンパクトで使い勝手重視・ローコストで設計された、多目的型FFU。処理風量から、1,3,5,7,10,13,17立米の各タイプをラインナップ。
【大型FFU】
  大風量を処理するための大型FFU群。室内の陽圧化・陰圧化、清浄空気による換気数の確保、乱流希釈式による室内のクリーン化など目的で使用される。CCP-60では加湿機との併用も可能。処理風量17,30,60立米/分の装置を標準機としてラインラップ。※他の風量でも対応可能な場合がございます。
【クリーンウォール】
自立パネル型FFU。厚みが少ないので省スペースによる設置可能。清浄空気を供給する給気タイプと吸い込んだ空気を清浄化して排出する排気型の2タイプがあります。この2種を組合せてPush-Pullの水平気流を作り出せるのが最大のメリット。また、単独でも給気型では既存のデスクと合わせて簡易クリーンベンチとして。排気型は簡易集塵機としてクリーンルームのホコリを発生させる工程(エアーガンでの除塵など)の回収用途として使用できます。 
FFUの使い方〜換気回数と気流形状
FFUは各種ありますが、クリーンルームまたは局所的なクリーンエリアを構築するために使用します。 使用のガイドラインはJIS B 9919「クリーンルームの設計施工及びスタートアップ」という規格の附属書に明記されており、 それに沿って必要な風量のタイプをチョイスして設置します。
  JIS B 9919による清浄度クラスと換気回数

清浄度            換気回数      気流形式
クラス6(1000)  ・・・30〜90回/時  非一方向流式または併用式
クラス7(10000) ・・・20〜40回/時  非一方向流式または併用式
クラス8(100000) ・・10〜20回/時  非一方向流式または併用式
※( )は相当するFED-209D規格の清浄度クラス。シーズシーによる付記。
※占有状態は通常運転時。
※換気回数とは対象の部屋を供給する清浄化空気で1時間当たり何回換気できるかを表す数字。〜回/時。
例えば、3×3×2(高さ)mのクリーンブースを設計する場合、容積は18立方mです。 ここをクラス7にする場合は、18(立法m)×40(回)÷60(分)=12(立法m/分=CMMと略します)となりますので、 ここでは、風量が12.5CMM(強運転時)のCS-CUTE-13C×1台を選べばよい、ということになります。

また、同規格には気流形式も表記されています。クラス5以上の高清浄度の場合、一方向流式が採用されますが、 クラス6以下では非一方向流式または併用式が採用されます。クラス6以下で採用されている非一方向流式気流は乱流希釈式と言い、 汚染粒子は室内に一定時間滞留しながら徐々に希釈されていくという方式です。 この方式はクリーンルーム内の製品がある程度汚染されることは仕方がない、という考え方です。 「いや、大切な製品が汚染されては困る」というのが普通だと思います。そのため、併用式気流も採用されているのです。 (非一方向流式の中に一部、一方向流式を併用する)製品の汚染を防ぐには重要なコンセプトなので、シーズシーでもこの点を重視しています。 クリーンルーム(あるいは一般空間)内部に設置するクリーンブース、またはクリーンベンチはいずれもこのコンセプトに基づくものです。 併用式を発展させて、非一方向流式の内部に非一方向流を併用する方法ももちろん効果的だと考えられます。
必要な場所に必要なだけで 局所クリーン化
対象が浮遊微粒子でなく粗大粒子であっても併用式の有効性は確認できます。
※粗大粒子は堆積するので、非一方向流だけでは汚染リスクが高くなると想定しています。
FFUの使い方〜設置について
NSF及びCUTEシリーズのFFUは上面の丸開口より吸気し、下部に取り付けられたHEPAフィルターの全面より吹出す仕組みです。クリーンルームやクリーンブースでは天井に開口を作り、その上からFFUを乗せるように取り付けます。すると、FFUはルーム・ブースの外の空気を吸い込み、内側に清浄化(フィルター性能に依存)して供給します。この時、ルーム・ブース内は外よりも圧力的に高くなります。これを陽圧(または正圧、+圧)といい、一般的なクリーンルームはこのように陽圧管理を行います。 これに対して、一般の居住空間は換気扇による(機械的な)排気を行い、給気口から自然に外気を取り入れます。この状態では内部の方が外気よりも圧力は下がるので陰圧(負圧、−圧)といいます。陰圧状態では清浄度は外気のきれいさに依存します。陰圧状態で管理するのクリーンルームもあります。主に有害な物質を扱う場合が多く、その場合は給排気ともにフィルターを使用し、機械的な給排気を行います。 陽圧化はクリーン化を行うには重要な要件です。まず、陽圧状態を作るには適切な囲いを設ける必要があります。作業内容や導線を考慮して囲いを決めます。鋼板やアルミフレームで形を決め、周囲に樹脂や金属のパネル、軟質塩ビシートの壁を作ります。次に目標とする清浄度クラスを得るための換気回数を設定し、FFUを選定します。FFUの取り付け方法には天井に取り付けて、上から下への気流を形成する方法と壁面に取り付けて、奥から手前の気流を形成する2つの方法があります。通常は重力による影響を考慮して上から下への気流を作ることが多いです。

 
FFUの使い方〜ここに注意!
●大原則 「対象物をFFUに対して上流側に設置する」FFUは清浄化された風を供給する装置です。しかし、対象物との間に発塵源があるのであれば、単にホコリを吹き付ける装置になってしまいます。なので、対象物との間には発塵源(人間もそうです)が来ないように設置しなければなりません。
●反跳気流にご注意 FFUの風速は大変緩やかで手をかざしても感じるか感じない程度です・・・なんて思うのは人間の感性。微小なホコリからすれば、台風並みの威力があります。FFUの風に乗ってもホコリは舞うのです。気を付けなればならないのが、床から跳ね上がる気流。ホコリの乗せたまま、装置や棚、人にまで駆け上ります。FFUの風速、床や壁に当たるまでの距離、対象物の配置など、十分に考慮して設置しなければ思わぬリスクが発生することもあります。
●誘引気流にご注意 FFUの気流には誘引気流が発生します。吹き出した空気はわずかですが周囲より圧が低い状態となり、そこへ向かって風が吹き込みます。ホコリもそれに乗って対流します。FFUから風を拡散させることで対策が可能で、シーズシーではそのための製品CSバルーンをご用意しております。同じFFUを使っても清浄度が全く変わってきます。
●イオナイザーとの併用 クリーンベンチなどでブロアタイプやエアバータイプのイオナイザーを併用されているお客様は多いですが、イオナイザーは風でイオンを届けようとするため、FFUよりも風速は速めです。すると、空気の乱れが起こり、ホコリもイオナイザーの風に乗って飛ばされます。イオナイザーは静電気は除去できますが、例えば、重力によって製品の上の乗っかるホコリを除去することはできません。風が喧嘩する場合は注意が必要です。




 
クリーン化のために〜使用事例
●クリーンブース・クリーンベンチの自作・内作 ・・・10数年前まではクリーンベンチやクリーンブースは非常に高価な装置でした。半導体業界をターゲットとして製品が主流だったので、その他の業界ではほとんどオーバースペック気味のものがほとんどでした。しかし、今やFFUを購入すれば、自社内でクリーンブースやベンチを口上げることが可能になっています。多くの場合、原理原則が分かればそれほど難易度が高いものではありません。多目的型FFUであるNSFシリーズのページには取り付け方やメンテナンスについての解説も掲載しています。清浄度を必要とする重要な工程に、製品の保管や搬送時の清浄化に、あるいは工場内の空気清浄機として、様々な使用目的に使用可能です。
●自社製造装置への搭載・・・セットメーカー様には自社製造装置への搭載のお手伝いをさせていただきます。クリーン化ニーズの高まりに合わせて自社装置のクリーン化のためにFFUを搭載されているケースは多いと思います。シーズシーでは、そのようなセットメーカー様のために図面提供はもちろん、安心してご使用いただけるためのメンテナンス・部品提供のための資料も準備させていただいております。その他、装置に合わせて機器の選定のためのご相談に応じております。
●難易度の高い設置環境への応用・・・かってFFUを購入したことがあるが、思ったほど効果はなかった・・・どのようにクリーン化エリアを構築してよいのかわからない・・・このようなお声も多いかと思います。樹脂塗装、スクリーン印刷など、排気を伴う工程では気流の制御も重要になってきます。静電気による付着が多い工程も難しいですよね。あるいは食品・化粧品などの充填工程も難しさがあります。そんな時は、商品のお問合せと同時にシーズシーにお気軽にご相談ください。専門のスタッフが設置方法についてアドバイスさせていただきます。
●伝統工芸の匠や趣味の世界へも・・・漆塗りなどの現場でもホコリ対策に困っている、植物の栽培用途に使用したい、プラモデルの塗装がホコリだらけになる、個人宅の塗装工事でクレームを受けた・・・など、様々な用途でシーズシーのFFUはご使用いただけます。通常の対策では難しいホコリ対策用途に!







 
一般の空気清浄機との違い
シーズシーで販売しているFFUと一般家庭で使われる空気清浄機との違いは微粒子専門である、ということです。 一般家庭用の空気清浄機ではウィルス、ダニ・カビなどのアレルギー源、VOCなどにも対応するフィルターが搭載されていることが多く、 微粒子自体はさほど重要視されていない場合がほとんどです。微粒子に対応すれば、一般環境ではすぐに目詰まりを起こしてしまいます。 逆に言うと、FFUは一般環境の諸問題の解決には不向きで微粒子・ホコリ対策に対して非常に有効ということになります。

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シーズシー有限会社
お問い合わせは info@csc-biz.com
電話 078−252−7201/FAX 078−252−7210