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クリーンルームのダストが見える「ポラリオン・クリーンルーム・ライト」

強力な「ポラリオン クリーンルーム ライト」
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  クリーンルームの4原則に「ゴミを堆積させない」というのがあります。堆積させないといっても、相手は目に見えない微小なゴミ。従来は、ゴミがあるのか、無いのか、見た目にはまったく分かりませんでした。
  「ポラリオン クリーンルーム ライト NP-1」は条件がよければクリーンルーム内の約10μm*注 程度のダストまで見ることが出来る超強力ハンディライトです。
  クリーンルームの床や壁、クリーンブースのカーテンに付着したダスト、クリーンルーム中に浮遊するダスト、ワークの表面に付着したダスト、クラックなどのワークの傷、外観不良などを強力に浮かび上がらせます。

*注 通常環境下では約100μm程度のゴミを見ることができます。
約10μmのサイズの微粒子まで可視化可能
「ポラリオンライト」はもともとは軍用・レスキュー用に使用されていた強力なHID光源のハンディサーチライトです。従来ではクリーンルームの検査用にはハロゲンランプなどが使われていましたが、机上でワークの確認用としてのみの利用がほとんどでした。「POLARION LIGHT」はケタ違いの強力さで、よい条件下ではワークの表面のゴミなど約10μm程度の大きさのゴミまで強力に浮き上がらせます。
付着ゴミの確認に有効です※クリックすると写真が拡大します。
作業台の上のゴミです。 同じ写真を拡大しました。 ライトを直接当ててない状態。ゴミは見えません。 清掃後。
ライトは低い角度で当てるとワーク表面の傷・ゴミが浮き上がるように見えてきます。
ガラスのように透明なワークでは裏面から当てるのも効果的です。
反対に凹凸が大きく光を乱反射するような表面のワークではよい状態で見ることは出来ません。(非常に低い角度で当てれば、見えやすくなります。
シートの上の異物 拡大しました。
気中に漂うゴミ・ホコリが確認できます
一般環境下では、目には見えませんが、左写真のように非常に多くのゴミ・ホコリが存在しています。クリーンルームの中ではその数は大変少なくなりますが、全く無いわけではありません。では、どのくらいの数があり、どのように飛んでいるのか?このライトを使うことで気中に漂うゴミ・ホコリを観測することができます。
ライトを使うとどうしてゴミがよく見えるのでしょうか?詳しくはこちらのページ
☆ポラリオン クリーンルーム ライトの特集ページ </TD>


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ポラリオンライトはオプションで2種類のフィルターをご用意していますので、ご用途に合わせて、応用してご利用頂くことが可能です。

グリーンフィルター(標準付属品)とUVカットフィルター及びUVフィルター(オプション品)を比較してみました。

  グリーンフィルター UVカットフィルター UVフィルター
 外観
見え方 
分光光度 

UVカットフィルター
  上記の表示のように、グリーンフィルターの分光光度は、緑色の光の波長である550nmを中心に高いピークがありますが、紫外域、赤外域にもピークがあります。
  このままでは、リソ室など感光剤を扱うクリーンルーム(イエロールーム)では使用できません。そこでグリーンフィルターに450nm以下の波長をカットするガラスを組み合わせた 「ポラリオンライト用UVカットフィルター」 をご用意しました。
UVフィルター
ポラリオンライトを使用するとクリーンルーム内に意外と多い「繊維くず」「糸ゴミ」を発見することが可能です。パーティクルカウンターで測定すると清浄度は規定値以下なのに目に見えるようなゴミ不良が多い、というような場合には、ポラリオンライトでその原因・正体を見つけることができます。このたび、さらに強化するツールとしてポラリオンライト用UVフィルターを発売することとなりました。詳細はこちら


※ ポラリオンライトの解説リンク集 ※
以下のページではポラリオン ライトのアプリケーションや他のアイテムとの比較、仕様などについて詳しく解説しています。各ページへはロゴをクリックしてください。
クリーンルーム内 のダストについて 考えるページ このページでは、クリーンルーム内のダストについて、従来から使用されているクリーンルームの標準的な評価装置「パーティクルカウンター」と「ポラリオン クリーンルーム ライト」を比較しながら解説しています。 また、粘着ローラー、掃除機、ワイパーでのゴミの除去を実験しました。「ポラリオン クリーンルーム ライト」でその結果を見ると・・・ 
ポラリオンライトでゴミを映す最高のパートナー 世の中で一番平らなもの・・・シリコンウエハ。ポラリオンライトとのカプリングで良好な状態で工程内の落下塵を確認することができます。
ポラリオンライトで表面に付着したダストを確認 ポラリオンライトを使えば、表面に付着したダストの確認も可能です。
さらにゴミが発生する様子を撮影する試みも・・・。
クリーンルームの 清掃確認 アプリケーション クリーンルームの維持管理のために清掃は欠かせません。クリーンルームユーザーなら誰もが知っていることですが・・・。ポラリオンライトでクリーンルームの清掃を10倍効果的にする方法を提案します。
検査工程で使用 する他のアイテム との比較 顕微鏡を使った検査工程での使用例を紹介しています。
ポラリオンライト で使用されている HIDとは? どうして、ポラリオンライトを使うと通常は見えない微小なダストが見えるのでしょうか?また、どのように見ればより効果的なのか、を考察します。
新聞・TVで ポラリオンライト が紹介されました ポラリオンライトは新聞やTVでも紹介されています。一例を紹介しています。
ポラリオンライトでクリーンベンチ内のダストを見る
W1000×D650×H650の簡易クリーンベンチ内にて素手で手をたたきました。ライトがなければ、もちろん何も見えません。そこでポラリオンライトを上向きに置き、もう一度、手をたたいたときの写真が左のものです。一瞬で、多数のダストが広範囲に飛び散っています。(ライトの光束の中だけ微粒子が浮き上がって見えます。)
また、下段は連続写真です。少し、分かりにくいですが、徐々にダストが落下していく様子を捉えています。
細長く軌跡が見えるのはカメラのシャッター速度によるものです。
アクリル板への付着の様子を見る
上のようにダストを発生させた状態で擦った(静電気を発生させた)アクリル板を近づけてみました。これも写真では分かりにくいのですが、目視ではダストが静電気で吸い着く様子が観察できました。
中には、逆に反発して遠ざかるものも気流に乗ってワークを避けて流れ落ちるものもありました。また、上からだけでなく、下からもくっつくことが確認できました。
下からの付着にご用心
上の状態から1分ほどたつとクリーンベンチ内のダストはほとんど除去されて空間を漂うダストは見えなくなります。
そのとき、ワークの下から飛んできて付着するゴミがあるのが観察されました。
この場合は強制的に発生させたダストがライトのレンズ上に乗っており、それが静電気吸着によりワークに引き寄せられたようです。
※動きが速いので軌跡が見えます。
考えてみるとワークの下はクリーンエアの気流もなく、無防備。改めてクリーンベンチなど作業環境の清掃や、クリーンルーム4原則の「堆積させない」「発生したゴミは排除する」の大切さが分かるシーンです。
静電気付着の動画
この映像では静電気を起こしたプレートの上を流れていく微小なホコリが静電気で「流れ」とは別にくっついたり、離れたりする様子が分かります。
従来では、レーザー可視化装置など高価な設備を使用しなければ確認できなかった実験ですが、ポラリオンライトとデジカメ動画機能の組合せで、簡単に動画に撮る事が出来ます。
※詳しくは静電気実験のページをご覧ください。
ユーザーの声
大型ガラスパネル製品製造 基板上:浮遊ゴミが付着したものを見つけることが出来ます、使い方によっては数10μmレベルなら探せるかなと思われます。ただ、ハンディなので使い方は工夫が必要でしょう。
装置:清掃の行き届いていないところが一目でわかるため、メンテナンス時には非常に有効なツールと言えます。
クリーンルームの床:見落としているゴミがくっきりと浮かび上がるので清掃チェックにも使えます。
評価用として:ただし、よほどひどい埃でないと普通のデジタルカメラでは写りませんでした(判別できない)。 ということで、このライトはクリーン化推進を目的とした使い方には、価値ありと判断できます。
樹脂加工製品製造 作業台上にゴミが残っているのが確認できました。通常は作業後に清掃を行っていますが、必ずしも十分でなかったことが分かりました。
エレクトロニクス製品組立 クリーンベンチ内で保護フィルムをはがす作業でベンチ内はパーティクルゼロで静電気除去も行っているのに、はがす瞬間にフィルムからワークにゴミが移っていました。ライトを使うことでゴミがあるなしが分かったので、エアガンでフィルムのゴミを吹き飛ばし、対策しました。
自動車塗装 上塗工程では20μm以上のパーティクル管理をしていましたが、「悪さ加減」がデータで伝わりにくいという問題がありました。ポラリオンライトで「見える化」するようになり、具体的な毛ブツの動きも分かり、改善の効果も目視で確かめられるようになりました。デジカメで動画にして管理すると分かりやすいです。
塗装のアプリケーションは金属部品 塗装技術最前線(塗装技術士 平田氏のブログ)にてご紹介いただいております。
搬送系から落下するゴミの観察
塗装の中間工程でのゴミの観察
NP-1 概略仕様
(本体共通仕様)
名称:ポラリオンライト
型式:NP-1 メーカー名:ポラリオン
光源:HID
出力:35W
サイズ:295㎜(全長)×135㎜(高さ)×90㎜(幅)

(バッテリー仕様)
バッテリー種類:リチウムイオンバッテリー
出力電圧・電流(バッテリー):DC14.8V・5200Ah
入力電圧(ACアダプター):100~240V、50/60Hz
充電電圧・電流(ACアダプター):19V・2.5A
重量:2.3Kg(リチウムイオンバッテリー含む)

(AC電源仕様)
出力電圧・電流:15V・10A
入力電圧・電流:100~120V、220~240V(切り替え式)、50/60Hz 重量:1.9㎏(ダミーバッテリー含む)

別売りオプション:
ランプバルブ、ハードケース(AC電源キットは収納できません)、AC電源キット、バッテリーパック、ACアダプター、グリーンフィルター、UVカットフィルター、UVフィルター
そこの部分に滑り止めゴムがついています。また、底面中心部には三脚固定用のねじがあります。
ハンドル部のボタンスイッチでON/OFFします。
充電して持ち運びできるバッテリーパックセット。クリーンルームの隅々までチェックできます。
ACにつないで連続使用するAC電源キットセット。検査工程での使用はこちらをお選びください。
写真撮影・デモにはXCRという機種とNP-1を併用しております。実際の販売はNP-1のみとなります。
※ポラリオン クリーンルーム ライトは以下の2パターンでのセット販売となります。用途に合わせてお選びください。

・バッテリーパックセット(構成品:ライト NP-1、ACアダプター、バッテリーパック(内蔵)、電源コネクタ、グリーンフィルター)
・AC電源キットセット(構成品:ライト NP-1、AC電源キット、電源コネクタ、グリーンフィルター)

バッテリーパックセットは持ち運びには便利ですが、ACアダプターにつないだ状態での連続使用ができません。連続使用の場合はAC電源キットセットをお選びください。また、併用される場合は別売のAC電源キット、またはバッテリーパック+ACアダプターを合わせてお買い求めください。
オプション品
 ランプバルブ ハードケース
(AC電源キットは収納できません) 
AC電源キット  バッテリーパック 
ACアダプター グリーンフィルター  UVカットフィルター  UVフィルター 
ランプバルブ交換について
ランプ交換につきましてはシーズシーにお戻しいただき、点検・交換をするもしくはユーザー様にてランプバルブを ご購入いただき交換手順書をもとに交換していただくかのどちらかになります。
※シーズシーにお戻しいただき点検・交換をさせていただく際は別途点検交換工賃が発生いたします。
※ユーザー様にて交換をされる際の工具類の貸し出しなどは行っておりません。ご了承ください。
※ランプモジュール交換手順はここをクリックしてご覧ください※

クリーンルームライトについてのよくある質問のページができました。 こちらのページをご覧ください。

•購入方法(販売ルート)や納品についてのご質問
•購入時の機種の選び方に関するご質問(オプション類を含む)
•海外での使用に関するご質問
•修理やメンテナンスに関するご質問
•使い方に関するご質問
•「見える化」の原理に関するご質問


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詳しくはこちらのページをクリックしてください。

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