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パーティクルカウンター入門編

パーティクルカウンター入門編
初めてパーティクルカウンターをご購入される方は必見です!
クリーンルームやクリーンブース、ベンチなど、クリーン機器を設置した後は気中清浄度の維持管理が大切なテーマとなります。目に見えない微小なゴミ・ホコリを対象とするクリーンエリアの状態を知るにはパーティクルカウンターが必需品
このページでは初めてパーティクルカウンターをご購入される方にお勧めのハンディタイプについて徹底的に検証します。
クリーンルーム清浄度の維持管理のために
初期には十分な清浄度を保っているクリーン機器も使用する間にさまざまな要因で清浄度が落ちていることがあります。ある日突然、気が付いて愕然とすることがないように、日ごろの状態をチェックすることが重要です。パーティクルカウンターで定期的に測定することをお勧めします。

 クリーン度の低下にはこんな原因が…。
  • クリーンルーム内で使用する機械(動力まわり)からの発塵
  • クリーンルーム内で使用する備品からの発塵
  • 作業員からの発塵
  • 空調機のトラブル、フィルターつまりなどによるクリーンルームの能力低下

 パーティクルカウンターでは分からない粗大粒子の堆積にも要注意!
 
詳しくはこちらのページをご覧ください。→ クリーンルームダストの見える化
まず、クリーンルームの規格について考えてみましょう。
★清浄度の単位体積は1cf? 1立方メートル? 
同じクリーンルームといっても規格によって管理値が違います★

※クリーンルームの清浄度をあらわす規格はFED209シリーズやISO14644シリーズが使われています。
FED209Dは現在でもよく使用される規格で
「0.5μmを対象に1CF(キュービックフィート=1辺が1フィートの立方体の体積を表す表記で約28.3リットルに相当します)中のパーティクルの上限値」です。
よく聞くクラス100、1000、10000という分け方はこのFED209Dという規格に基づいています。

 

それに対しFED209E以降では単位体積に
1立方メートルを使用するようになりました。(1CFを併記)

なお、現在では上記の規格はどちらも廃止され、ISO14644シリーズに統一されています。この規格でも対象体積を1m3と定めていますが、しかし、パーティクルカウンターの試料の吸引量から考えてもFED209Dがいまだに多く使用されているという現実には変わりありません。
(ISOではISO Class 1、2・・・9のように言います。)

つまり、違う規格が並行して使用されている現状では業界やエンドユーザーに必要とされている清浄度はどの規格に基づいて言われているのか、確認しておく必要がありますね。

※KC-51 とKC-52両方には測定結果を1000Lに換算する機能が付いています。ISOクラスが少し使いやすくなりました。
クリーンルームの定義と規格について詳しくはこちらのページをご覧下さい。
測定方法に決まりはあるのでしょうか?

測定方法にも決まりがあります。
しかし、下記別表による測定方法では対象をクラス1〜4としていて、これはFED209Dではクラス10に相当します。ということはクラス100、1000、10000などは、この測定方法によらなくてもいいわけです。

つまり、例えば、クラス10000の場合には、製造ラインまたは環境の重要性により測定ポイント数を絞り、測定ポイントに重みをつけたことを説明出来ればいいというわけです。
(規格では原則として、面積3×3mに1点)

JIS 9920(ISO 14644規格の前身)による測定方法はこちらをご覧下さい。

シーズシー有限会社
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