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JIS B 9920の清浄度評価方法
項目 逐次サンプリング評価方法
1.評価対象空間 測定点付近の空間を対象とする(清浄度クラス4以上)
2.記載以外のクラス定義 原則としてない
3.クラスの表示方法 1m3の空気中に含まれる粒径0.1μm以上の微粒子を10のべき乗で表したべき指数で表す
4.評価対象の清浄度クラス 清浄度クラス1~4
5.評価方法 逐次サンプリング評価を行い、逐次サンプリング評価線図の信頼係数95%以上の適合領域に入れば、測定点は清浄度クラスを満足すると判定する
6.測定点における清浄度クラスを満たす上限値 逐次サンプリング線図で適合領域に入った場合は平均的に、上限濃度の約60%以下になる
7.空間における評価 全測定点で5の条件が満たされていることが必要である
8.測定器 0.1μm以上 : 光散乱式粒子計数器
5μm以上 : 光学顕微鏡
9.評価のための対象粒子径数 1粒径以上で評価する
10.測定点の数 クリーンルーム全体空間を評価する場合は、最小6点
原則として、面積3×3mに1点
全測定点数は20~30点を目安とする

※リオン株式会社HP・気中微粒子の測定と管理より

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