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「RACCAR」粗大粒子カウンター

落下したホコリを分級・カウントする!! 「粗大粒子カウンター」
空気中の浮遊塵をカウントするパーティクルカウンターでは製品の表面に付着するダストをカウントできない!!
ゴミ・異物不良の原因は「粗大粒子」の評価こそが重要!!

クリーンルーム内で本当に問題となるのは製品の表面に付着するダストです。これらは非常にゆっくりと落下してきてクリーンルーム内に堆積していきます。シーズシーでは、サンプル板上に落下してきた30μm以上のダストの大きさを分級し、その数をカウントする測定器「粗大粒子カウンター」を販売しております。
パーティクルカウンターだけでは落下塵の数量は判断できない
【パーティクルカウンターでは相関が取れない表面異物不良】

通常、クリーンルームの清浄度の測定を行うにはパーティクルカウンターを使用します。しかし、クリーンルームの清浄度を管理してもゴミホコリが付着する不良の数と相関が取れないという声をよく耳にします。それは、パーティクルカウンターが気中に浮遊する微粒子をカウントするのに対し、表面異物の原因となるのは粗大粒子の方であり、大きさも挙動も違います。
【落下塵とは?】

通常、ものを落とすとそれは等加速度運動(自由落下)をします。しかし、対象物がだんだん小さなものになり、1mmを切る大きさになると空気抵抗によりなかなか落下せずにゆっくりと落ちてくるようになります。さらにその1000分の1の1μmになると気中を浮遊するようになります。
この気中を浮遊する1μm以下の微粒子が浮遊塵=パーティクルです。
しかし、目に見えるかどうかという大きさから1μm以上の大きさの粒子は粗大粒子と言われ、気流に乗り、室内に広く拡散し、時間をかけてゆっくりと落下し、いつの間にか、室内に堆積していきます。

特に30μmから100μm程度の粗大粒子は塗装・コーティング工程をはじめ、ISOクラス6,7,8(クラス1000、1万、10万;FED−STD−209D、0.5μm/CF)の様々な業種業界のクリーンルームにおいて、製品の表面に付着すると不良になるというケースが多いと言われています。

※参考ページ クリーンルーム内のダストについて考えるページ
図2 粗大粒子の動き方
図3 粗大粒子の堆積・再飛散・再付着
【落下塵は堆積する】

クリーンルームテクノロジーはHEPAフィルター(0.3μm以上の粒子を99.97%以上捕集)と気流のコントロールにより、いつまでも浮遊するパーティクルを制御することが可能となりました。しかし、粗大粒子は気流滞留域では落下してしまうために、直接、クリーン機器では除去できません。対策としては、なるべく発生を少なく、持ち込みを少なく、そして、堆積したものは清掃以外に取り除く手段はありません。
落下塵は図2のように ・クリーン機器のないところで落下 ・作業者から発塵や歩行による巻き上げ ・床に堆積したものが反跳気流により飛散し、やがて製品上に付着します。
ほとんどのパーティクルカウンターでは粗大粒子は測定範囲外で測ることができません。しかし、図3のように気中パーティクルカウンターで測定してより小さな粒子の数がOKであっても清掃を怠れば、時間とともに次第に増えていくのです。
【製品概要】

粗大粒子カウンターはサンプル板として4インチシリコンウエハを使用し、サンプル板上の粗大粒子の分級とカウントを行う装置です。結果はパソコン(別売)に表示・保存することができます。
  • 最小可測粒径が30μmで、分級が30μm以上,50μm以上,100μm以上,150μm以上,200μm以上
  • ウエハ上の落下塵は画像処理により、分級・色分けされ、表示されるので、一目で落下塵の状況が分かります。
  • 画像データ(jpc, bmp, tiff 又は png形式)と分級結果(csv形式)をパソコンに保存することが可能です。
  • 測定時間は平均10秒程度、シリコンウエハをクリーンナップすれば何度も使用できます。

サンプル板
(4インチシリコンウエハ)


ケースに入っている様子
測定画面イメージ図
関連ページ 
粗大粒子カウンターと表面清浄度  製品の表面清浄度(SPC)の粗大粒子カウンターを使った管理方法の提案 こちらのページをご覧ください。
粗大粒子カウンター 使用例のページ 粗大粒子カウンターが有効な4つの使用方法について。こちらのページをご覧ください。



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