FED-STD-209Eクラス分類

クラス		クラス上限値
		0.1μｍ		0.2μｍ		0.3μｍ		0.5μｍ		5μｍ
		単位体積		単位体積		単位体積		単位体積		単位体積
メートル法	英国単位	（m3)	（ft3)	（m3)	（ft3）	（m3)	（ft3）	（m3)	（ft3）	（m3)	（ft3）
M1	-	350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10.0	0.283	-	-
M1.5	1	1,240	35.0	265	7.50	106	3.00	35.3	1.00	-	-
M2.	-	3,500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	-	-
M2.5	10	12,400	350.0	2,650	75.0	1,060	30.0	353	10.0	-	-
M3	-	35,000	991.0	7,570	214	3,090	87.5	1,000	28.3	-	-
M3.5	100	-	-	26,500	750	10,600	300	3,530	100	-	-
M4	-	-	-	75,700	2,140	30,900	875	10,000	283	-	-
M4.5	1,000	-	-	-	-	-	-	35,300	1,000	247	7.00
M5	-	-	-	-	-	-	-	100,000	2,830	618	17.5
M5.5	１0,000	-	-	-	-	-	-	353,000	10,000	2,470	70.0
M6	-	-	-	-	-	-	-	1,000,000	28,300	6,180	175
M6.5	100,000	-	-	-	-	-	-	3,530,000	100,000	24,700	700
M7	-	-	-	-	-	-	-	10,000,000	283,000	61,800	1,750

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