◇【1】エアシャワーの天井パンチングとCSバルーンの効果検証実験………☆彡

エアシャワー稼働中の庫内清浄度に関しては、ある程度エア
シャワー内の換気回数に比例することが一般的ですが、もう一つ
の要因としてエアシャワー内の乱流に相関すると考えられます。
エアシャワーで除去した塵埃、特に微粒子(0.3〜5μm以下※)
が、吹き出し口のない左右上部で乱流により滞留しているため、
ドアの開閉で起こる誘引気流によって、クリーンルーム側へ流入
する恐れがあります。
※=仮に5μm以上の粗粒子であっても繊維系の浮遊する異物
で浮遊する場合は同
様である。

ドアの開閉時に気流がどのように動くのか、気流可視化装置
ミストストリームを使用して動画撮影を行い、エアシャワー内
からクリーンルーム側のドアを開けた時の気流の動きを撮影
しました。
※気流を見やすくするため室内を暗室にし、ポラリオンライト
でミストストリームから流れる気流を照らして撮影しています。

・・・(下略)・・・

17年08月21日号より