クリーンルーム清掃・測定サービス |
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「クリーンルームは完成時が一番きれい」と言われます。 でもそれは施工完了後にきちんと清掃を行った場合の話。 業者さんがサービスで行ってくれる簡易清掃と本格的なクリーンルーム清掃ではレベルが違います。 施工完了時には金属加工の切子や保護シートの破れカス、僅かな衝突で発生する塗装剥がれ、輸送時に付着する砂塵など危険な異物がいっぱいです。本格的なクリーンルーム清掃を行うことで気持ちよくスタートさせましょう。 |
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プロが行う施工完了時のクリーンルーム清掃 |
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1.事前打合せ 清掃手順・工数・ツールの選定・検収条件の確認など 2.清掃 ・ミーティング ・事前にクリーンルームライトやパーティクルカウンターで清掃前状態の記録を取っておきます。 ・粗清掃~クリーンウエア・シューズ(持参)を着用し、クリーンルーム掃除機による粗ゴミ取りを 行います。 ・主にワイパー+純水またはエタノール、IPAで本清掃を行います。上から下へ。奥から手前に。 ・クリーンルームライトによる確認を行いながらさらに清掃を進めます。 ・清掃後確認。クリーンルームライトによる目視やパーティクルカウンターデータをクライアント様 にもご確認いただきます。 ・ミーティング 清掃時に気が付いた点などを確認します。 ※清掃前にクリーンルームを稼働し少しでも内部状態をよくしておく、という考え方と清掃後にクリーンルームを稼働させるという考え方があります。前者では清浄度は良くなりますが、粗大粒子レベルの汚染があちこちに飛散する可能性があり、逆に後者ではクリーンルーム・クリーン化機器への負荷が少なく済む(汚れた空気をどっと吸い込まない)、ホコリを舞い上げないうちに除去できるというメリットがあります(ホコリは床にある)。 ※原則としてクリーンルーム内部は空の状態でお願いします。内部に装置がある場合でも可能ですが、装置養生はお客様にてお願いします。また、万が一、清掃作業が原因で装置に影響が出た場合でもシーズシーはその責は負いませんので予めご了解のほどよろしくお願いします。 |
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2つのパターンのクリーンルーム稼働前測定 |
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稼働前のクリーンルーム測定にも2つの目的があります。 一つ目はクリーンルームの性能が設計どおりにでているかどうかという目的に沿った測定。こちらはISO規格に事細かに実施要領が記載されておりますのでそれに沿った形での実行となります。対象は0.1~5μmの浮遊微粒子です。 もう一つはシーズシー独自の測定で問題異物を想定した測定となります。24時間放置での落下塵測定、温湿度と粗大粒子を同時に測定、クリーンルームライトを使った堆積塵調査など、お打合せにより、より問題異物の対策に役立つ測定を行います。 |
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