クリーンルーム内の異物
パーティクルカウンタとの比較解説やポラリオンライトを使用した異物除去実験などを紹介します。
ポラリオンライトは、シーズシーのクリーンルームライトシリーズで
最もハイパワーなハンディライトです。
条件が良ければクリーンルール内の約10μm程度の異物まで見ることが可能です。
クリーンルーム内の様々な異物や傷などを浮かび上がらせます。
一般環境下では目に見えない浮遊異物もポラリオンライトを当てると、
浮かびあがります。
クリーンルーム内でも、浮遊異物が全く無いわけではありません。
左写真のように気中に漂って製品付着の原因になっていたとしたら…
「百聞は一見に如かず」ということわざの通り、人は目に見えない物よりも目に見える物の方が認識しやすいです。
ところが、クリーンルームでは目に見えるか見えないか、ぐらいの小さな異物が
見つけにくい形状であることが多く、対処することが困難です。
異物がどこにあるのか?どれくらい積もっているのか?どこからきたのか?
把握できないと対処のしようがありません。
上記を解決するために、
クリーンルームライトで目に見えない異物を見える化し、
問題点を共有することで関係者の意識が高まり、効果的な対策の導入・実行に繋がる
でしょう。
ポラリオンライトは光が強力で広範囲を見ることが可能な為、
見える化の共有や教育、清掃後の確認に役立ちます。
ポラリオンライトには、通常構成品として「グリーンフィルター」が付属しています。
ではなぜ、グリーンフィルターなのでしょうか?
一言でいえば、「緑の光は目に良い」ことが理由にあがります。
人間の視覚系感度は、光の波長によって異なりますが、
明所視(※明るい場所で視神経が機能している状態)では、555nmがもっとも感度がよいとされています。
この波長がポラリオンライトのフィルターピークに設定されているので、【最もよく見える】というわけです。
また、暗所視では、507nmの光に対して最も感度が良いと言われています。
◀色彩のポータルサイト~カラーセミナーより転用。
ポラリオンライトは、グリーンフィルター以外にオプションで2種類のフィルターをご用意しております。 用途に合わせて使い分けが可能です。グリーンフィルターとの比較をご紹介します。
グリーンフィルター (標準付属品) |
UVカットフィルター (オプション品) |
UVフィルター (オプション品) |
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外観 | |
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特徴 |
明所視でもっとも感度が良いとされている555nmをピークに設定したフィルター。暗所視の507nmにも対応。 |
グリーンフィルターに450nm以下の波長をカットするガラスを組合せたフィルター。 |
ポラリオンクリーンルームライトの発する可視光の領域をカットし、紫外線のみを通すフィルター。 |
見え方 | |||
分光光度 |
ライトのアプリケーションや他のアイテムを使用した実験など、
ポラリオンライトについて詳しく紹介しております!
是非、ご一読ください。
クリーンルーム内の異物
パーティクルカウンタとの比較解説やポラリオンライトを使用した異物除去実験などを紹介します。
ポラリオンライトで見えるわけ
どうしてポラリオンライトを使うと目に見えない異物が見えるのか?また、効果的な使い方とは?
清掃確認ツール
クリーンルームの維持管理に欠かせない清掃。ポラリオンライトで清掃を10倍効果的にする方法を教えます。
落下塵の確認
片面鏡面で平らなシリコンウエハを使用して工程内の落下塵を確認します。
メディアの紹介
ポラリオンライトは、新聞やTVでも紹介されています。その一例をご紹介します。
クリーンベンチ内の埃を見る
簡易ベンチ内でアクリル板など使用した実験を紹介しています。
本体共通仕様 | |
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名称 | ポラリオンクリーンルームライト |
型式 | NP-5(エヌピーファイブ) |
ランプ形式 | HID |
ランプ形式出力 | 35W / 50W (Turbo) |
サイズ | 全長:265 × 高さ:137 × 幅:90(㎜) |
バッテリーパックセット仕様 | |
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バッテリー種類 | リチウムイオンバッテリー |
重量 | 1.47Kg(※バッテリー込) |
出力電圧・電流 | DC14.52V/14900mAh |
ACアダプタ | |
入力電圧 | 100~240V|50/60Hz |
充電電圧・電流 | 19V・3.15A~ |
AC電源キットセット仕様 | |
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重量 | 1.47Kg(ダミーバッテリー込) |
出力電圧・電流 | 15V.10A |
入力電圧・電流 | 100~120V |
220~240V ※切替式 | |
50/60Hz |
ライト本体のみの販売は行っておりません。
上記どちらかの使用をご選択いただくか、両仕様でも使用可能です。
※両仕様をご希望の場合は、バッテリーパックセットとオプションよりAC電源キットをご選択ください。
バッテリーパックセット仕様|構成品 | |
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① 本体 | |
② ショルダーベルト | |
③ グリーンフィルター | |
④ バッテリーパック | |
⑤ バッテリー充電用ACアダプタ | |
⑥バッテリーパック充電用スタンド |
※以下本体装着済み | |
⑦ランプバルブ | |
⑧バッテリー用後方キャップ |
AC電源キットセット仕様|構成品 | |
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①本体 | |
②ショルダーベルト | |
③グリーンフィルター | |
④DC→AC変換ボックス | |
⑤ダミーバッテリー(2m) | |
⑥AC電源コード |
※以下本体装着済み | |
⑦ランプバルブ | |
⑧AC電源用後方キャップ |
光基板上に付着したゴミを見つける事ができました。使い方によっては数10µmレベルなら探せるかな?と思います。 装置周りは、清掃が行き届いていない箇所が一目でわかる為、 メンテナンス時には非常に有効なツール と言えます。
作業台上にゴミが残っているか確認ができました。 通常は作業後に清掃を行っていますが、必ずしも十分でなかったことが分かりました。
クリーンベンチ内で保護フィルムを剥がす作業時にベンチ内のパーティクルはゼロで静電気除去行っているのに剥がす瞬間にフィルムからワークにゴミが移ってしまった。ライトを使うことでゴミの有無が分かったので、エアガンでフィルムのゴミを吹き飛ばし、対策を行いました。
上塗工程では20μm以上のパーティクル管理を行っていましたが、「悪さ加減」がデータで伝わりにくい問題があり、ポラリオンライトを用いることで 具体的な毛ブツの動きがわかり、改善の効果も目視で確認できるようになりました。デジカメで動画にして管理するとわかりやすいです。