0.5μm粒子数で管理しているクリーンルーム!?
しかし問題になるのは50μm以上の粗大粒子では!?
0.5μm異物がゼロでも粗大粒子がゼロとは限りません!
この機会にクリーンルーム内の粗大粒子の定点観測をしては如何でしょうか?
重力沈殿する粗大粒子は風にも流れ自重でも落下します。
RACCARは落下塵数の管理に役立つクリーン化の強い味方です!!
手袋やクリーンウエアの付着塵をスタンプテストで確認できます。
クリーンだと思っていたものが汚染の原因かもしれません。
手袋やクリーンウエアの付着塵を採取したものを洗浄済みのシリコンウエハへ。
RACCARの測定台にシリコンウエハを載せます。
平均約7秒で画像処理により5段階に分級・色分け。
画像データ(jpg/bmp/tiff 又は png形式)と分級結果(csv形式)でダウンロード可能です。
サンプル採取板のウエハの耐熱温度はなんと1400℃
乾燥炉内の異物確認にもご使用いただけます。
上記の応用で真空装置内やオーブン内など、計測機器では測定が難しい工程でも測定可能です。
シーズシー株式会社
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