ゾーニングのためのアイテム「エアシャワー」

エアシャワーのあるべき姿（機能編）

エアシャワーを使用する業種が多様化する一方で、残念ながらエアシャワー自体は従来通りの仕様で大きな進化を遂げていません。しかし、ターゲットとする異物を絞り込み、それに応じた機能をプラスすることで除塵効率が上がり、俗に「最後の砦」と称されるように、クリーンルームに持ち込まれる塵埃の防止に大きな役割を果たします。

シーズシー推奨の追加機能

天井層流吹き出し
天井ジェット吹き出し
床面吸引式
中性能フィルター
除電機能

それでは、これらの機能は多様化する業種の中で【どの機能が、どのような業種に適しているのか】を表①にまとめました。

天井層流吹き出し＆天井ジェット吹き出し

半導体など対象異物が微粒子等の業種においては、対象が浮遊塵埃のため側面からのジェットエアーと天井層流の仕様が最適です。電子部品やフイルム加工等は、対象が粗粒子とは言え比重が軽く、エアシャワー中やエアシャワー後に塵埃が上部に浮遊するため、天井層流式が効果的です。
食品に関しては、頭部についた毛髪をジェットで飛ばすことを考慮して、表①では△（やや効果あり）にしています。

天井層流式の効果

層流式の有／無では、どう違うのか実験してみました。
実験方法は、同じ仕様のエアシャワーを２台用意し、片方に天井ジェット吹き出し（パンカー）仕様、もう片方に層流用のＣＳバルーンをパンカーに取り付けた層流吹き出し仕様にし、Ｈ1700の位置で0.5μの粒子を所定間隔にて測定しました。
結果を表②にまとめています。

結果、表②の通り天井層流式と天井ジェット吹き出し式では、測定結果が大きく違います。天井層流式のほうが圧倒的に早く除塵できます。ＦＦＵの吹き出し口に取り付けるＣＳバルーンが、エアシャワーでも効果を発揮することがわかりました。
一見すると、天井ジェット吹き出し式は天井に吹き出し口が付いて喚起しているように思うのですが、吹き出すと同時に舞い上り塵埃を上部に戻す気流が生じた為、上記のような結果となりました。

FFUの吹き出しに取り付けたCSバルーン

床面吸引式

次に、床面吸引方式は吸引口が床面にあり比重の高い塵埃を吸引できるため、靴底に再付着した持ち込み塵埃を低減することができます。従って、比重の高い毛髪等が対象となる食品関係には、効果が大きいでしょう。
さらに、靴底ブラシを併用することにより靴底の除塵も可能になり、床面から直接吸引されるので、ブラシで掻き出された塵埃は周囲に飛散することなく効果的に吸引されます。