クリーンルームのような【多機能クリーンブース】 |
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| シーズシーではクリーンブースとはクリーンルームから空調やクリーンパネルなどの要素を削除し、簡易化したものという認識をしています。ここでさらに工程について考えていくと、内部を一定の清浄度を維持するだけのシンメトリックな構造のクリーンブースでは意味がないことに気づきます。 ではクリーンルームのような【多機能クリーンブース】とはどのようなイメージのものでしょうか？以下にその要素を挙げ、さらに詳細をご紹介します。 |
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・プロセスコアでの清浄度を局所的に確保し、維持する。   |
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プロセスコアではもっとも高い清浄度を確保右写真のクリーンブースは鋼板製で２ｍ×２ｍの天井ユニットの組合せでできています。一番右奥のユニットではFFUを４台搭載し、その手前は２台、左サイドでは０、または１台と、工程と動線を考慮して細かく分けられています。（上部にビニールカーテンを張って、混流を防ぎます）このうち、もっとも清浄度が欲しいエリアはFFU４台設置した区画です。通過エリアでは０、または１台のみのFFUと少ない風量ですが、ハイクリーンエリアでの余剰エアをうまく使って清浄度を確保しています。また、ハイクリーンエリアでは他のエリアと比べ処理風量が多いため、下のカーテンの開口を多く空け、カーテンの膨らみすぎを抑制しています。  
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半自動ドア付き前室一般にはクリーンルーム内部での発塵は、作業員由来のものがもっとも多いといわれています。少なくとも外部からのゴミの持込はないようにクリーンウエアに着替える必要があります。このクリーンブースは前室があり、FFUも備えているのでクリーンロッカーの役割も果たしています。内部での発塵がクリーンブースの中に逆流しにくいように、室間差圧で言えば、一番下流にあたります。また、病院などで多く見かける半自動引き戸を備えています。 このブースはエアシャワーはありませんので、下記ページで別のエアシャワーとの組合せ例をご紹介します。  エアシャワー付きクリーンブースのページ  |
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クリーンブース用パスボックスまだ、設置されていないので、ちょっと分かりにくいのですが、右写真上のクリーンブースでは前室の右隣の区画（カーテンがあるところ）にワイヤーシェルフを置いて治具用のパスボックスとするよう計画されています。ワイヤーシェルフであれば棚をそのまま使用できるので便利ですよね。下の写真は他のクリーンブースでの例ですがFFUを搭載しています。 他にもワークの大きさ・工程に合わせてクリーンブースに応じたさまざまなパスボックスの設置が考えられます。  |
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イエロークリーンブースなどへの応用こちらは別のクリーンブースで、アライナで露光実験を行うためのものです。イエローカーテンで囲われていますが、よりシビアな紫外線除去の環境を作るため、紫外線カットフィルター（蛍光灯カバー）は４４０nmまでの紫外線をカットする「ライトイエロータイプ」を採用しました。また、カーテンを床まで伸ばして、下からの光の侵入も防止します。通常はクリーンブースの下部の陽圧を逃がす空間をなくしたので、かわりに遮光ガラリを取り付け、余剰空気を逃がすようにしました。このようにクリーンルーム同様、クリーンブースでも各種特殊仕様への対応も可能です。 イエロークリーンブースの詳細はこちら  |
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メンテナンスや安全性への配慮クリーンブースも大きくなると天井にあるFFUのメンテナンスが大変手間になります。このブースでは落とし込み式のメンテナンス口を設け、内部からFFUのメンテナンスが容易にできるようになっています。また、カーテンにはところどころファスナー開口が付いていて、排煙装置の作動や作業員の脱出が容易にできるようになっています。 ちなみにカーテンはブースの内外どちらからも開閉可能です。   |
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