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イエロークリーンブースの一例

　　

露光機用や感光剤保管用のクリーンブースでは紫外線遮断が重要です。クリーンブースの周壁に紫外線を透過しない「ＵＶ対応帯電防止ビニールカーテンを使用し、内部の蛍光灯には紫外線防止の紫外線カットフィルターを取り付けます。 このページでは２つの例を紹介していますが、パスボックスや前室、遮光ガラリなどにも工夫をしてみました。参考にしてください。 ページの下方では紫外線カットフィルターについて紹介しています。
装置を囲うイエロークリーンブース
写真は装置用クラス１万のクリーンブースです。紫外線を嫌う工程のため、周囲をＵＶカット可能な帯電防止ビニールシート貼りにしました。また、蛍光灯には紫外線カットフィルター（クリアタイプ）を取り付け、蛍光灯が発する紫外線もカットしています。 暑さ対策として、天井部分には欄間パネルを取り付け、ＨＥＰＡフィルターユニットが効率的にエアコンから吹き出す涼しい風を吸い込むようにしています。 左下にあるのはパスボックス。ワークにあわせて幅広に作りました。

前室もイエローブース
このクリーンブースにはワーク搬入用と作業員が入室する２つの前室があります。いずれも本室と同様にイエローカーテンで囲い、紫外線カットフィルター（クリアタイプ）を取り付けた蛍光灯付きです。クリーンユニットは、ＣＳ－ＣＵＴＥ－０５Ａを使用しました。 エアシャワーは使用せず、前室をクリーンロッカーとしても使います。 クリアタイプ紫外線カットフィルターは４１０nmまでの紫外線をカットしますが、色目はほとんど透明なので、イエロールーム特有の黄色く暗い感じがかなり軽減されます。 右の写真は、上：前室との間仕切りイエローカーテン／下：ＦＦＵと蛍光灯を見上げたところ　です。
パスボックスもイエロータイプ
完成品を払い出すためのパスボックスです。クリーンブース用なので、クリーンルーム用のような鋼板製の箱ではありません。周囲は帯電防止仕様で紫外線をカットするアクリル板。底板はSUS板貼り。ダーティ側は帯電防止イエローカーテンになっており、ＨＥＰＡフィルターユニットを２台搭載しています。常にダーティ側に空気が流れるため、扉を開けたとき、外部の汚れた空気が流入しにくいつくりになっています。クリーン側の扉は、ワークが幅広のため、３つ割にし、上にマグネットキャッチ、下に蝶番を付け、ふたは手前に落とすように開きます。 右写真は、上：クリーン側／下：ダーティ側です。
露光実験用イエロークリーンブース
こちらは、アライナで露光実験を行うためのクリーンブースです。上のブースと同様にイエローカーテンで囲われていますが、よりシビアな紫外線除去の環境を作るため、紫外線カットフィルターは４４０nmまでの紫外線をカットする「ライトイエロータイプ」を採用しました。また、カーテンを床まで伸ばして、下からの光の侵入も防止します。通常はクリーンブースの下部の陽圧を逃がす空間をなくしたので、かわりに遮光ガラリを取り付け、余剰空気を逃がすようにしました。 写真は、左：室内の様子、紫外線カットフィルターのため、明るい黄色になります。通常のイエローランプと比べると約５０％UPの照度が得られます。／中：外から見た様子／右：遮光ガラリ

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