ULPAフィルター、HEPAフィルター、中性能フィルター、プレフィルター、など |
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【クリーン機器】エアフィルター各種 |
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クリーンルーム用のフィルターは様々な種類があります。フィルターの仕様が同等であれば、特殊仕様を除き、他メーカーのものであってもほとんどの場合、リプレイスが可能です。ここでは、フィルターの種類及びフィルターの購入する際に考慮すべき点をご紹介します。 |
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シーズシーでは、フィルター各種取扱っております。ユーザー様でお使いの型式・開口サイズ・パッキン位置など、お教え頂けましたら低価格で高品質な相当品をご紹介させて頂きます。まずは、お気軽にご相談ください!! |
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エアフィルター選定に必要なことって?? フィルターの選定には、まず 「捕集効率」 と 「定格風量」 の確認が必要です。 種類によって、捕集効率が変わるため下記の表を参考に、自社の状況に応じて選定して ください。HEPAフィルターを例として下記のページにて解説します。 フィルターの選定に必要なこと 1)捕集効率の確認 2)定格風量 3)他の性能 フィルターの交換時期の目安 (別のページへ飛びます。) |
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【解説:捕集効率について】 HEPAフィルターを例にすると、 「0.3μm粒子に対して99.97%以上」とは、"1万個の粒子に対して3個以下にします。" という数値です。 通常、一般環境では100~300万個ぐらいのパーティクルが存在しています。ここにHEPAフィルターを通せば、一気に300~900個ぐらいになるということです。 ところが、クリーン機器などを設置したことがある方なら経験があるかもしれませんが、実際はもう少しキレイになるようです。99.97%は最低の保証値で、実力はもう少し上であるためだと思います。また、クリーンルームの清浄度規格は、0.5μm粒子の数で設計されている場合が多いので、フィルター効果との関係は換算表などで比較してください。 こんなに多くの粒子を捕獲しクリーンな空気を作り出しているのは、見た目には和紙のようにペラペラなガラスペーパー。これを構造的に単位面積あたりの通過風速や捕集効率を均一にするように組み立てられているのがHEPAフィルターです。 例えば、610×610×150(mm)のフィルターにはセパレータによってお互いに濾材同士が干渉することなく、約8㎡ものガラスペーパーが織り込まれています。 0.3μm以下の粒子を気にするところでは【ULPAフィルター】を、HEPAフィルタほど性能が必要ない場合は【準HEPAフィルター】または【MEPAフィルター】というように状況に応じ て選定すれば良いでしょう。 |
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【解説:定格風量について】 捕集効率と同じく大事な定格風量。定格風量とは上記の≪捕集効率≫、カタログの初期圧損損失値を保障する時の処理風量のことです。 フィルターの中にも濾材の組み方によって、標準型・多風量型などの種類があります。 |
"多風量型とは?" HEPAフィルターの場合、多風量型はサイズ的には標準型と同じですが、ピッチの小さなセパレーターを使って濾材面積を多く取り、処理風量を増加させたものです。 例)610×610×150(mm)のHEPAフィルターの定格風量 【標 準 型】 17立方メートル/分 ※濾材面積:約 8平米 【多風量型】28立方メートル/分 ※濾材面積:約13平米 クリーンルームの処理風量は清浄度に大きく関わってきます。一般的に、一定容積中の処理風量を増せば清浄度はUPします。 |
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