クリーンルーム用エアフィルターのメンテナンス
エアフィルター交換時期の目安

クリーンルームの清浄度を維持する為には定期的なフィルター交換が必要です。 「えーと。。。前フィルター交換したのはいつだっけ・・・？」となっていませんか？ 一次フィルターの目視確認、2次フィルターの差圧確認など、定期的に実施することが不可欠です。 フィルターのメンテナンスについてユーザー様に質問しました。代表的な回答をご紹介します。

Q.「フィルター管理はどうされていますか？」

フィルター交換目安 エアフィルターをある処理風量で使用した時のフィルター入口の圧力(上流側静圧)と、フィルター出口の圧力(下流側静圧)の差を【圧力損失】と言い、単位はPa(パスカル)で表します。 フィルターには、各フィルターごとの最終圧損値があり、それを超えて使用した場合に性能保証範囲外となるため、フィルターの圧力損失を差圧計など用いて測定し、範囲外となれば速やかにフィルター交換を行いましょう。適切な管理を行えるよう、数値を確認しておきましょう。 ※すでに施工されたクリーンルームのフィルターメンテナンスの場合、≪完成図書≫に必ずフィルターの型式、仕様が明記されております。フィルター交換の際は、仕様をご確認の上フィルターをお選びください。

フィルターの選定に必要なことの解説はこちら。（別のページへ飛びます） 　　１）捕集効率の確認 　　２）定格風量 　　３）他の性能

フィルターの種類	説明文
ULPA フィルター　（超高性能フィルター） Ultra Low Penetration Air Filter	ULPAフィルターとは、Ultra Low Penetration Air Filter の略で、日本工業規格（JIS規格）では0.15μｍ粒子に対して99.9995％以上捕集できるエアフィルターのことです。
HEPA フィルター　（高性能フィルター） High Efficiency Penetration Air Filter	HEPAフィルターとは、High Efficiency Particulate Air Filter の略で、高性能フィルターのことです。日本工業規格（JIS規格）では0.3μｍ粒子に対して99.97％以上の捕集できるエアフィルターのことです。
準HEPA フィルター Semi-HEPA Filter	準HEPAフィルターとは、0.3μｍ粒子に対して95～99％以上または、95%以上の捕集できるエアフィルターのことです。 ※ネットショップには掲載されていないため、必要な際お問合せください。
MEPA フィルター　（中性能フィルター） Medium Efficiency Penetration Air Filter	MEPAフィルターとは、Medium Efficiency Particulate Air Filter の略で、中高性能フィルターのことです。中性能フィルターとも呼ばれています。0.4μｍと0.7粒子に対して50～95％以上の捕集できるものが多いです。
その他
ケミカルフィルター Chemical Air Filter	大気中に含まれる有害ガスや臭気を除去 例 ● 酸性ガス除去用 ● 有機ガス除去用 ● NOX・SOX除去用 ● アルカリ性ガス除去用
プレフィルター Pre-filter	● 主フィルターの上流に設ける２次フィルター ● 粗じん用フィルターとも呼ばれています。

　　　

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