クリーンルームの気流を見える化！！陽圧・陰圧確認にも最適

気流可視化装置ミストストリーム

ミストストリームとは、

超音波霧化ユニットとファンを内蔵し、クリーンルーム内で使用可能な

微細なトレーサー・ミストを発生させ、気流を可視化する装置です。

特徴

クリーン化において、気流をコントロールすることは非常に重要です。

しかし微粒子同様、気流そのものも目に見えません。

このミストストリームは、微細化した水滴をトレーサーとして気中に散布し気流を可視化しています。

また、フィルター※1　を内蔵し純水を使用することでクリーンルームを汚すことなく使用が可能です。

陽圧・陰圧がとれているか、ワーク付近の微妙な気流の回り込み、クリーンルーム内での気流滞留域の検出、熱による上昇気流の確認など、様々な用途に使用が可能です。

※1 ＨＥＰＡフィルター搭載ではございません。
※　ハイクラス（ＩＳＯクラス5以上）クリーンルームでのご使用は推奨しません。
※　クリーンルーム内の使用は純水の使用をお勧めします。

使用例

陽圧・陰圧の確認

室圧の違う2部屋でミストストリームを差動させ、わずかに隙間をあけた時や開口部からのミストの流れによって陽圧・陰圧が確保できるかどうかを確認します。

※ドラフトチャンバー（陰圧）や、循環式クリーンベンチなど装置の気流も確認することができます。

使用例①　開口がある加圧された室内で陽圧が確保されているかの確認です。

ポラリオンクリーンルームライトを使用し、より分かりやすくしています。

気流帯域やゴミだまりの調査

クリーンルーム内に障害物があった時に気流滞留域がどのように発生し、そこでゴミだまりがどのようにできるのか？をミストストリームを使用することで可視化確認できます。

使用例②　クリーンベンチ内に障害物を置いて、気流滞留域の発生を確認しています。

障害物を取り除くと滞留域は消滅します。

気流速度による変化

気流速度は、どのクリーン化機器でも一定で良いというわけではありません。
例えば、

• 粗大粒子を追い出すには、どれくらいの気流速度が良いのか？
• クリーンブースやベンチ内の障害物周辺は、どのように気流が動くのか？
• 気流速度が調整できるのであれば、適切な速度なのか？

これらをミストストリームで確認することができます。

熱による上昇気流

熱による上昇気流があるとゴミの周囲で舞上がり、室内のごみ発生器 になってしまっている可能があります。

ミストストリームは、この熱上昇気流の確認も可能です。

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