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「ＲＡＣＣＡＲ」粗大粒子カウンターの使用例

「ＲＡＣＣＡＲ」粗大粒子カウンター　使用例のページ
落下塵は製品の表面に付着し、製品不良の原因になる厄介ものです。気中を漂いながらゆっくり落下するので、パーティクルカウンターで測定する浮遊塵とゴミ不良との相関が取れないことがあります。そのような場合は落下塵数を管理すると有効です。「ＲＡＣＣＡＲ」粗大粒子カウンターは、「落下塵（落下してきた粗大粒子）」を測定するだけでなく、他の用途でも使用可能です。また、その結果からクリーンルームの定説を覆すような事例を得ることもあります。このページでは「ＲＡＣＣＡＲ」粗大粒子カウンターの４つの使用例をご紹介します。

１．周囲環境の落下塵を測定する
クリーンナップしたシリコンウエハ（サンプル収集板）を任意の場所に置き、ゼロ→増加数により、落下塵数をカウントする方法です。落下塵は気流、暴露時間、静電気付着、重力沈降の影響などによって、付着数が変わってくるので、設置した環境にワークを置いた場合、どの程度、落下塵が付着するのか、予想することができます。
周囲環境の落下塵を測定する・・・使用例

２．発塵を確認する（スタンプテスト）

クリーンルーム用品などに付着したダストを確認することができます。クリーンナップしたシリコンウエハ（サンプル収集板）を対象物に触れさせることで、ゼロ→増加数により、表面の粒子汚染を調べることができます。

クリーンルーム用品がゴミ不良の原因となることがある。

クリーンルーム手袋やワイパー、また、クリーンルームウエア。クリーンだと思っていたものが油断して使用すると表面汚染の原因となることがあります。「ＲＡＣＣＡＲ」粗大粒子カウンターを使うと簡単にクリーンルーム用品の汚染具合を確認することができます。

①	②
クリーンルームの清掃後の手袋がどれくらい汚れているか、スタンプテストを行います。	サンプリング用シリコンウエハに手を数秒押し付け、異物を転写させます。

③ RACCARでの測定結果・・・右手の跡がわかるほどしっかりごみがついていました。

３．クリーン化機器・ツールの除去率を調べることが可能

ゴミが付着した状態のシリコンウエハを使い、除去ツールの前後の数値を比較することで、除去ツールの除塵率を調べることができます。

イオナイザーでは付着したゴミを除去することはできない

静電気によるゴミの付着対策用にブロアタイプのイオナイザーが使われることはよくあります。しかし、ブロアタイプのイオナイザーは静電気にいる付着を予防することはできますが、すでに静電気で付着したゴミ・ホコリを除去することは全くと言っていいほどできません。除塵目的でイオナイザーを導入することは意味がないようです。逆に、おそらくエアブローでの風速によるゴミの衝突が原因と考えられますが、数値はすべて増加しています。

実験概要	イオナイザーの効果


４．装置ごとの付着塵数を調べることが可能
１．と同様の使用方法ですが、装置に設置して使用します。すべての場合で使用可能ではありませんが、シリコンウエハを設置可能な装置であれば、その装置（工程）でのゴミの付着量を調べることができます。また、上記の応用で真空装置内やオーブン内など、パーティクルをカウントすること自体が難しい工程でも使用可能です。工程内の同じ装置が同じゴミ付着量であるとは限らない。クリーンルームの立ち上げ時など、各装置が発塵なきことを調べることは重要で、かつ、スピードが求められます。そんなときに役に立つのが「RACCAR」粗大粒子カウンターです。同じメーカーで作られ、同じ時期に導入された装置でも、ワークを通したときに付着するダスト数は全く違う場合があります。「RACCAR」粗大粒子カウンターを使用すれば、装置ごとの付着塵の量を確認でき、ロケット立ち上げの手助けとなります。オーブン内など容易に測定することが難しい個所などで活躍しております。実験動画はありませんが、ある工場の落下塵を調べたとき、同じ工程内にあるふたつの装置で落下塵数がまったく違うことがありました。組立時や輸送時など装置が汚れる要素は多数あります。ですから、クリーンルームで隣り合わせで設置された装置でもゴミ付着量がまるで違うことはありうるのです。


５．フィルム加工工程での落下塵数カウント
近年、機能性フィルムがさまざまな分野で使用されていますが、フィルムはその薄さ故にホコリ不良も多く発生します。しかし、ライン速度が速く、また、１ロットが数ｋｍにもなることもあるため、実際にはワーク上のホコリをカウントすることはほとんど不可能となっています。そこで、シリコンウエハを工程中の複数の場所に設置し、１ロットごとに回収しデータを取ります。この方法なら客観的な数値がロットごとに得ることができます。その結果からロット中のホコリ付着の状態を想定します。ラインの早期立ち上げにも有効です。フィルムのホコリ対策に確かなデータを提供！


６．シャーレや粘着シートでの落下塵カウントを効率化
落下塵数管理による不良対策は粗大粒子カウンターが世の中に出る以前から行われていました。その一つがシャーレや粘着シートを使った目視カウントもしくは顕微鏡でのカウントです。しかし、これらは非常に長く時間がかかるうえに作業員によるばらつきが大きく、データとしては精度がいまひとつ、と言われていました。粗大粒子カウンターはこの作業を効率化し、時間の短縮およびより正確なデータ収集を可能にします。「ＲＡＣＣＡＲ」粗大粒子カウンターの導入により、従来はカウントをしていなかった下位製品にも品質向上のための対策をとれるようになります。作業効率UPで幅広い対策が実現可能！

「ＲＡＣＣＡＲ」粗大粒子カウンターの使用例

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