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「ＲＡＣＣＡＲ」粗大粒子カウンター（旧称：落下塵カウンター）

落下したホコリを分級・カウントする！！　「粗大粒子カウンター」
	空気中の浮遊塵をカウントするパーティクルカウンターでは製品の表面に付着するダストをカウントできない！！ゴミ・異物不良の原因は「粗大粒子」の評価こそが重要！！
	クリーンルーム内で本当に問題となるのは製品の表面に付着する粗大粒子です。これらは非常にゆっくりと落下してきてクリーンルーム内に堆積していきます。シーズシーでは、サンプル板上に落下してきた30μm以上のダストの大きさを分級し、数をカウントする測定器「粗大粒子カウンター」を販売しております。

製品概要　粗大粒子カウンターはサンプル板として４インチシリコンウエハを使用し、サンプル板上の粗大粒子の分級とカウントを行う装置です。結果は付属のパソコンに表示・保存することができます。最小可測粒径は30μm 分級は５段階：30μm以上,50μm以上,100μm以上,150μm以上, 200μm以上ウエハ上の落下塵は画像処理により、分級・色分けされ、表示されるので、一目で落下塵の状況が分かります。画像データ（jpg, bmp, tiff 又は png形式）と分級結果（csv形式）をパソコンに保存することが可能です。測定時間は平均約７秒シリコンウエハはクリーンナップすれば何度も使用できます。			サンプル板（４インチシリコンウエハ）ケースに入っている様子
ウエハとピンセット	ウエハ暴露の様子	RACCARの台に載せて測定	ワイパーでクリーンナップ

測定画面イメージ図			スタンプテストスタンプテストの結果画面

関連ページ
		製品の表面清浄度(SPC)の粗大粒子カウンターを使った管理方法の提案　こちらのページをご覧ください。
		粗大粒子カウンターが有効な４つの使用方法について。こちらのページをご覧ください。
パーティクルカウンターは気中浮遊微粒子測定器！！落下塵の数量は判断できない！！【パーティクルカウンターでは相関が取れない表面異物不良】通常、クリーンルームの清浄度の測定を行うにはパーティクルカウンターを使用します。しかし、「クリーンルームの清浄度を管理してもゴミホコリが付着する不良の数と相関が取れない」という声をよく耳にします。それは、パーティクルカウンターが気中に浮遊する微粒子をカウントするのに対し、表面異物の原因となるのは粗大粒子の方であり、大きさも挙動も違います。パーティクルカウンターは気中浮遊微粒子測定器なので、表面異物の測定に向いていない・・・
落下塵とは？通常、ものを落とすとそれは等加速度運動（自由落下）をします。しかし、対象物がだんだん小さなものになり、１ｍｍを切る大きさになると空気抵抗によりなかなか落下せずにゆっくりと落ちてくるようになります。さらにその１０００分の１の1μｍになると気中を浮遊するようになります。この気中を浮遊する1μｍ以下の微粒子が浮遊塵＝パーティクルです。しかし、目に見えるかどうかという大きさから1μｍ以上の大きさの粒子は粗大粒子と言われ、気流に乗り、室内に広く拡散し、時間をかけてゆっくりと落下し、いつの間にか、室内に堆積していきます。特に３０μｍから１００μｍ程度の粗大粒子は塗装・コーティング工程をはじめ、ＩＳＯクラス６，７，８（クラス１０００、１万、１０万；ＦＥＤ－ＳＴＤ－209Ｄ、0.5μｍ／ＣＦ）の様々な業種業界のクリーンルームにおいて、製品の表面に付着すると不良になるというケースが多いと言われています。 ※参考ページ　クリーンルーム内のダストについて考えるページ
図２　粗大粒子の動き方		図３　粗大粒子の堆積・再飛散・再付着
落下塵は堆積するクリーンルームテクノロジーはＨＥＰＡフィルター（０．３μｍ以上の粒子を９９．９７％以上捕集）と気流のコントロールにより、いつまでも浮遊するパーティクルを制御することが可能となりました。しかし、粗大粒子は気流滞留域では落下してしまうために、直接、クリーン機器では除去できません。対策としては、なるべく発生を少なく、持ち込みを少なく、そして、堆積したものは清掃以外に取り除く手段はありません。落下塵は図２のように　・クリーン機器のないところで落下　・作業者から発塵や歩行による巻き上げ　・床に堆積したものが反跳気流により飛散し、やがて製品上に付着します。ほとんどのパーティクルカウンターでは粗大粒子は測定範囲外で測ることができません。しかし、図３のように気中パーティクルカウンターで測定してより小さな粒子の数がＯＫであっても清掃を怠れば、時間とともに次第に増えていくのです。そこで、落下塵の数を把握するには、粗大粒子カウンターRACCARが適切なのです。塵埃を測定するには、対象物の特性に合った測定器が必要
気中浮遊微粒子を測定するなら	対象が10μｍ以上の浮遊粒子なら	リアルタイムで気中浮遊粒子を測定	３０μｍ以上の落下塵を測定するには