作業者からの発塵 | クリーンウエアの着用、ウエアの管理、入室管理、動作のマナー |
外部からの汚れた空気の侵入 | 上流の部屋のクリーン化(陽圧化)、上流から給気されるブロア・ダクトのクリーン化、上流での作業員やプロセスの発塵を軽減する。 |
床に堆積したゴミの再浮遊 | 床清掃、床からの飛散防止(粘着マットなど)、ワークを高い位置にあげる |
付着のしやすさ | |
ところで、クリーンルームの清浄度規格と良品率の相関性がとれずに困るという、ご意見を耳にすることがあります。これはゴミの付着しやすさに起因しているのではないかと考えます。つまり、ゴミが非常に付着しやすいワーク(プロセス)とそうでないワークがあり、確かにゴミが不良の原因になるのだけれども、空気中の濃度だけでは判断しにくいということです。 ゴミの付着は、空気中のゴミの濃度・気流速度・滞留時間・沈着速度・付着率によるものと考えられます。 フィルムのように静電気が起きやすいものはクーロン力の沈着速度に強く影響を受けやすく、自動車のボディのようなワークは気流を受け流しやすいため、付着率が少ないのではないかと考えています。 |
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対象となるゴミの大きさと動き | |
粗大粒子と呼ばれる10~100μmの粒子(※このページでは単にゴミとも呼んでいます)は気流に沿って挙動しますが、気流の滞留域では空気の粘性を受けてゆっくりと落下します。このとき、最終的には一定の速度になるので、「ストークスの終末速度」と呼ばれています。 しかし、それ以上の速度の気流があれば、再び、舞い上がってしまうのです。その速度は鉄の50μmの粗大粒子の場合で0.6m/secと普通にクリーンルームの中にある程度の風速なのです。 |
鉄のようなものでも微粒子は気流に乗りやすい |
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