鋼板製クリーンブース

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小型クリーンブースをコストダウン！シーズシーからのクリーンブース提案
鋼板製クリーンブース
	鋼板製クリーンブースの需要が増えています。 ◆最近は、精密な加工を行う工程や成膜などゴミを嫌う工程、洗浄装置など装置ごとに個別のクリーンブースを計画されるケースが多くなってきました。 ◆シーズシーでは、３ｍ×３ｍまでのクラス１０００、１００００の小型の鋼板製クリーンブースのラインナップを増強しました。高風量のＦＦＵを搭載し、基本設計を標準化することで、コストダウンすることができました。

	クラス１００００クリーンブースの測定を行いました

※中小企業様向けのお得な情報※

シーズシーが推奨する「ＣＳバルーン式クリーンブース（鋼板製／パネル式）」が、生産時の立ち上がりスピードが早いことから【中小企業等投資促進税制】の規定である「生産性向上」に値するとみなされ、本税制度の対象となりました。

適用期間内に適用対象法人が対象設備を取得すれば、【特別償却】または【税額控除】が適用されます。これを機にCSバルーン式クリーンブース導入を検討してみてはいかがでしょうか？

詳しくはこちら


主な特徴

◆１０，１３，１７立米／分のＦＦＵ搭載外形は同じで風量の違う３つのタイプのＦＦＵを使います。ＦＦＵを量産化し、基本設計を標準化することで、コストダウンすることができました。 FFUの詳細はこちら ◆０．５ｍきざみで価格表示　クラス１０００　１００００に対応クラス１０００、１００００別に１５００Ｗ×１５００Ｄ×２０００Ｈから３０００Ｗ×３０００Ｄ×２０００Ｈまでのサイズを０．５ｍきざみで価格表を表示しています。 ※価格表はメルマガ会員のページにあります。　上のフォームをご利用ください。 ※ＦＥＤ２０９Ｄに準拠（０．５μｍ／ｃｆ） ◆換気回数を表示１時間あたりの換気回数を価格表に表示しています。乱流式なので清浄度は風量で計算しています。参考値なので、これ以外のＦＦＵの搭載も可能です。とりあえず、陽圧化が目的の場合などは少ない風量に変更可能です。 ※価格表はメルマガ会員のページにあります。　上のフォームをご利用ください。 ◆工場で仮組みして性能チェック上の写真は工場でのチェック時のものです。遠方に送る場合でも欠品無く、スムーズに組上げることができます。ローコストでも品質をおろそかにいたしません。
製品仕様

本　体	鋼板焼付け塗装仕上げ
ＦＦＵ	メインフィルター／ＨＥＰＡフィルター
周　壁	帯電防止ビニールカーテン
電　源	ＡＣ２００Ｖ　３φ　５０／６０Ｈｚ
	照明付

クリーンブースの清浄度～クラス１００００について

日本にどのクラスのクリーンルームが多いかといえば、クラス１００００（ＦＥＤ－２０９Ｄにて）のクリーンルーム、もしくはクリーンブースの割合がもっとも多いのではないでしょうか？クリーンルームの入門編ともいえますし、それだけにコスト、仕様が厳しく求められるところです。

ここでは半導体、フラットパネル関係、電子部品関係だけでなく、ガラス、プラスチック、食品、包装、宇宙開発、大学などの実験室、さまざまな分野で一番使われているクラス１００００のクリーンブースの清浄度について、実験結果と合わせて考えてみます。

クラス10000クリーンブースの基本仕様

弊社の小型クリーンブースを例にとってみます。
フレームは鋼板製、周辺は帯電防止ビニールカーテン、
上部にＨＥＰＡフィルターユニットを搭載しています。

１．ＨＥＰＡフィルターユニットを使用し、内部を陽圧に保ちます。

ＨＥＰＡフィルターは０．３μｍ径ののパーティクルを９９．９７％以上の効率で捕集します。
陽圧にすることで、常にゴミはクリーンブースから外へ追い出されるようになります。

２．乱流方式です。

クリーンブース上部にＨＥＰＡフィルターユニットを乗せ、拡散させて室内に吹きだします。
層流方式では、ほとんどゴミは風に乗って全部運ばれますが、乱流式では気流の死角が出来て、かなりの部分がロスになります。

３．換気回数を３０～６０回／ｈ以上に設定します。

※弊社では４０～５０回が標準。
換気回数とは、ＨＥＰＡフィルターユニットの定格風量で１時間あたりに内部の空気をクリーンエアで入れ替えることが出来るかの回数をいいます。※小型の場合、容積に対する発塵量が多くなる可能性があるので、ＪＩＳ規格９９１９の附属資料中の換気回数よりやや多目に設定します。

実際のクリーンブースで測定してみました。


クリーンブースの仕様：サイズ：２５００×２５００×２０００Ｈ（有効）　１１ｍ^３／min　ＨＥＰＡフィルターユニット×１台搭載　換気回数：約５３回／ｈ

(1)	上記ブースを通常空間に設置します。まず、無人状態でパーティクルカウンター（リオン社　KR-12A）は中央（床から１ｍの高さ）に置き、起動と同時に、パーティクルカウンターを人の影響が出ないようにパソコンから操作して測定します。
(2)	次にパーティクルカウンターをコーナーから５０ｃｍ（床から１ｍの高さ）のところに移動させ、やはり、無人で測定します。
(3)	次に１名をオーバーオール無塵服を着用し、いすに着席した状態でブース内に入れます。パーティクルカウンターを中央に置き、同様に測定します。なお、資料によるとこの状態での人からのパーティクルは１４，８００個／分となっています。（０．３μｍ以上）
(4)	今度は同じ状態でパーティクルカウンターの高さを床から５０cmに下げます。
(5)	次に有人のまま、パーティクルカウンターをコーナーから５０ｃｍ、床からの高さを１５０ｃｍにして測定します。
(6)	パーティクルカウンターの高さを１ｍにします。
(7)	パーティクルカウンターの高さを５０ｃｍにします。

実験結果から
（１）について　この実験を行った部屋は通常、クリーンブースの組立てなどに使用するため、一般的な工場などよりはややきれいな、５０万個／ｃｆくらいの環境です。フィルター直下では、起動からたった２分ほどでパーティクルを測定しなくなります。クラス１００でもクラス１００００でも同じＨＥＰＡフィルターを使用しますので、吹き出し口からの風が直接あたるところは、クラス１００００よりもはるかにきれいな空間になります。
（２）について　乱流のため、中央と比べるとかなりパーティクルが緩やかに減少します。それでも、目標の１万以下には６分後には到達します。１万を過ぎても徐々に減少していることも見て取れます。 ※結局、このブースに限らず、クリーンブースの基本仕様を満たしておれば、内部が無塵無稼動で負荷がない場合、風量（換気回数）が少なくても、時間はかかりますが、目標数値には到達することになります。実際の現場では空のままブースだけを動かすことはまずないと思いますので内部発塵がある場合の回復速度に影響すると考えてください。
このページでは実験要領と写真、一部の考察のみを公開しています。クリーンブース価格表・クラス１００００の清浄度測定結果・（３）以下の考察をご覧になるにはメールマガジンの登録が必要です。　　◆メールマガジンのご紹介

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TEL：078-252-7201　FAX:078-252-7210

実験結果から
（１）について　この実験を行った部屋は通常、クリーンブースの組立てなどに使用するため、一般的な工場などよりはややきれいな、５０万個／ｃｆくらいの環境です。フィルター直下では、起動からたった２分ほどでパーティクルを測定しなくなります。クラス１００でもクラス１００００でも同じＨＥＰＡフィルターを使用しますので、吹き出し口からの風が直接あたるところは、クラス１００００よりもはるかにきれいな空間になります。
（２）について　乱流のため、中央と比べるとかなりパーティクルが緩やかに減少します。それでも、目標の１万以下には６分後には到達します。１万を過ぎても徐々に減少していることも見て取れます。 ※結局、このブースに限らず、クリーンブースの基本仕様を満たしておれば、内部が無塵無稼動で負荷がない場合、風量（換気回数）が少なくても、時間はかかりますが、目標数値には到達することになります。実際の現場では空のままブースだけを動かすことはまずないと思いますので内部発塵がある場合の回復速度に影響すると考えてください。
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