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微粒子可視化装置＆可視化サービス（停止中）

事後報告となりますが、「微粒子可視化サービス」を停止させていただきます。このサービスは微粒子可視化装置（竹中システム機器製）を使用して、お客様の工程での微粒子の様子をモニターするものでした。この装置の特徴はシート状のレーザー光線の投光部と受光部が一体設計されているため、コンパクトで移動が容易だったことです。稼働数はそう多くありませんでしたが、いくつかの工程ではゴミの発生を確認したり、ポンピング発塵の撮影に成功したりと活躍していました。 2011.10.31

■「微粒子可視化サービス」のスタート当時のこと

微粒子可視化サービスを開始したのは2006年11月、約5年前のことです。この頃はまだ、クリーンルームライトもなく、クリーンルームの評価はパーティクルカウンターがほとんど唯一のツールでした。しかし、クラス１万環境のクリーンルーム内でゴミ・ホコリが堆積することはすでにレポートされていて大きな問題となっていました。外部からのゴミ・ホコリの侵入には強力な防御力のあるクリーンルームも内部での発塵や持込みには弱いところがあり、ルーム内での発塵の実態を何とか観察したいという欲求は、あちこちで非常に強い声として聞こえていました。

すでにレーザーシート光線を使った可視化サービスは存在していましたが、とにかく高価で大手はともかく、一般のクリーンルームユーザーが使えるような金額ではなかったので、何とか安価に粒子の可視化ができないものかと、あちこち情報を探していたところで出会ったのが、この竹中システム機器製の装置でした。「これなら、安価で可視化ができる」ということであちこちの現場に出かけたり、社内の実験で使用したりしました。
もっともよいデータが取れたと思ったのはポンピング発塵の映像が撮れたことです。
ポンピング発塵とは、クリーンルームウエア着用時に人の動作により、ウエアの襟元の隙間から押された空気がウエア内のゴミを伴って勢いよく吹き出す現象です。
この現象はクリーン化技術本を読んで知っていましたが実際に観察したのは初めてでとにかくその量に驚きました。大量に出ます。「こりゃあ、どんなにクリーンルームを作ってクリーンウエアを着用して作業してもゴミ・ホコリによる不良が減らないわけだ」と内心強く納得しました。

■「微粒子可視化サービス」から「クリーンルームライト」へ

しかし、微粒子可視化サービスにも問題がありました。レーザー光線を使うので安全面での制約があること。すでに付着したゴミ・ホコリは見えないこと。この機器は適用範囲が100×100mmと狭く、広範囲の発塵は確認ができないこと。発塵問題は1回のサービスでは全容が分からない場合が多いこと。などです。そこへ新しいアイテムの情報が入りました。クリーンルーム用ハンディサーチライトです。
シーズシーでは即座にこのツールの国内販売権を獲得しました。
実際、このツールを使うと微粒子可視化サービスとほぼ同様のことが可能です。また、レーザーシート光線が2次元観察しかできないのに対し、狭いながらも3次元観察ができるので気流が細かな渦になる場合でも粒子の動きを観察できます。さらに、付着ゴミの観察も条件がよければ数μmサイズの目視が可能です。なによりのメリットは価格が安いこと。ライト1台の購入と可視化サービス１回のコストがほぼ同じなので「買った方が便利」というのは当然の選択です。あっという間にクリーンルームライトの販売数は伸びていきました。

シーズシーでは、「見える化」ツールはクリーンルームのゴミ・ホコリ対策のもっとも重要なアイテムとしてクリーンルームライトだけでなく様々なアイテムを開発、提供しています。その理由はクリーンルームはハードだけで成り立つものではなく、その内部で働く人が意識して協力しなければ、効力を発揮しないというソフト面の管理の重要性を強く感じるからです。右にその主要なものを紹介します。
※商品名をクリックしてください。紹介ページへリンクしています。

クリーンルームライトNP-1

クリーンルームライトＬ３ＳＱ

粗大粒子カウンター

■「微粒子可視化サービス」の停止について

それでもクリーンルームライトにはできず、微粒子可視化サービスにはできることも少しありました。ポンピング発塵の確認などです。ライトでは何度か試しましたが確認不可でした。完全な平行光ではないので、何もない空間に浮遊するダストの観察は可能ですが、モノに近すぎると反射光でダストが見えにくくなります。
ただ、そういう用途は非常に限定的で需要は少ないため、ここ２年ぐらいはまったくサービスの稼働はない状態でした。レーザー光線を使った可視化技術についてはまだまだ研究実践の余地はあるものの同機器を使ったサービスには限界があるとして本サービスの停止と言う結論に至りました。ご愛顧いただきました皆様には改めて御礼申し上げます。今後、近いうちに新しいレーザー可視化デモサービスを実施できるように現在も検討中です。新サービスの発表をお楽しみに。

【可視化装置での映像例　人体からの発塵】

写真をクリックするとムービーを見ることができます。

クリーンルーム内でクリーンクリーニングしたウエアの胸元を叩いた時の発塵の様子です。このような発塵は「ポンピング発塵」と呼ばれ、襟元の隙間から押された空気がインナーのゴミを伴って勢いよく吹き出すことによるものです。
ところで、すごい発塵ですね。クリーニング後なのでウエア自身からの発塵はほとんどありません。また、見えている粒子の大きさは５～１０μｍ程度です。
この映像を見ていただければ、クリーンルームの維持管理には作業員からの発塵を如何に抑えるか、また、作業員の教育をどうするのかが大変重要だということがわかります。
※ご注意　ムービーファイルは約１．３ＭＢあります。約８秒です。

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