卓上での検査用に
このような環境に
フィルムの異物・キズ確認に
シリコンウエハの付着異物確認
「点灯前」と「点灯後」の比較
【点灯前】
【点灯後】
(グリーンフィルター装着)
【点灯前】
卓上での検査用に
フィルムの異物・キズ確認に
シリコンウエハの付着異物確認
更に、30μm以上のパーティクルを対象とする「粗大粒子カウンターRACCAR」でシリコンウエハを測定すると、下図のような結果が出ました。
つまり、RACCARでは測定できない30μm未満の異物もダストファインダーL3SQを使用すれば見えることが判りました。
通常照明下では見えなかった異物が、ダストファインダーを使用すると簡単に検出できました。目視確認が可能になり、作業効率が改善されました。
複数人で使用する作業台にダストファインダーとアームスタンドを設置しています。
個人の目の高さや姿勢に合わせて照明の角度や高さを調整できハンズフリーで使用できるので、毎回快適に作業ができます。
可能です。
各オプション(グリーンフィルター、カバー、スタンド、アームスタンド)は単品でご購入いただけます。
本体は照明部と電源部のセット販売のみとなります。
本製品はLED並列構造のため、光束が測定できません。
デモ機のご用意がございますので実機でのご確認をお勧めしております。
デモ機最短貸し出し日程はコチラ
あります。
弊社ではバー型ライト ダストファインダーパワーセイバー CSDP-400/600/900のご用意があり、400㎜、600㎜、900㎜のラインナップです。
ダストファインダーL3SQの約5倍の明るさです。
ダストファインダーパワーセイバーの製品情報はコチラ
名称 | ダストファインダーL3SQ |
型式 | 照明部 CSDBA-LP200W-L2000-C02 専用AC電源コントローラー:CS-15AC |
メーカー名 | シーズシー株式会社 |
光源 | LED |
出力 | 15W(最大) |
入力電圧(照明部) | DC12V |
入力電圧(ACアダプタ) | 100~240V、50/60Hz |
電源仕様 | ACアダプタ、コード長2400㎜ (照明接続部先端からアダプタまで) ※照明にも2000㎜のコード付の為、合計4400㎜ |
コントローラー仕様 | スイッチ付き、調光機能付き |
サイズ | 照明部:223㎜×30㎜×31㎜ 電源部(コントローラー部):48㎜×74㎜×30㎜ |
重量 | 照明部:約270g 電源部:約190g |
別売オプション | スタンド、専用フィルター |