「ダストファインダーL3SQ」と「市販LEDライト」の比較 | ||
シーズシーで販売しているダストファインダーL3SQ(最大15W)とお客様の検査工程などで良く使用されている市販LEDライト(最大約8W)を用いて異物の見え方比較の実験を行いました。結果は下図の通りです。 | ||
アクリル板(白) |
L3SQ |
市販ライト |
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アクリル板(黒) |
L3SQ |
市販ライト |
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アクリル板(透明) |
L3SQ |
市販ライト |
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アルミ板 |
L3SQ |
市販ライト |
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シリコンウエハ |
L3SQ |
市販ライト |
更に、30μm以上のパーティクルを対象とする「粗大粒子カウンターRACCAR」でシリコンウエハを測定すると、下図のような結果が出ました。つまり、RACCARでは測定できない30μm未満の異物もダストファインダーL3SQを使用すれば見えることが判りました。 |
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RACCAR |
L3SQ&RACCAR比較 |
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概略仕様 | |||||||||||
名称:ダストファインダーL3SQ 型式:照明部 CSDBA-LP200W-L2000-C02 専用AC電源コントローラー:CS-15AC メーカー名:シーズシー株式会社 光源:LED 出力:15W(最大) 入力電圧(照明部):DC12V 入力電圧(ACアダプタ):100~240V、50/60Hz 電源仕様:ACアダプタ、コード長2400㎜(照明接続部先端からアダプタまで) ※照明にも2000㎜のコードがついておりますので合計4400㎜となります。 コントローラー仕様:スイッチ付き、調光機能付き サイズ:照明部 223㎜×30㎜×31㎜、電源部(コントローラー部) 48㎜×74㎜×30㎜ 重量:照明部 約270g 電源部 約190g 別売りオプション:スタンド、専用フィルター |
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オプション | |||||||||||
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ダストファインダーL3SQやNP-1ポラリオンライトを使って平面にあるゴミ・ホコリを簡単に発見できるのは暗視野照明の原理を応用しているからです。ここで暗視野照明と明視野照明について簡単に解説しておきます。 例えば、平面鏡があったとします。これを真っ暗な部屋に置き、真上から見るとします。 真っ暗なので鏡は見えませんね。 ここで照明(平行光に近いほどよい)を側方からほとんど角度をつけずに当てて鏡を照明します。このとき反射光は反射の法則「入射角=反射角」の方向、すなわち光が来た方向とは反対の方向へ反射して行くので、反射光は直接眼には入ってきません。平面鏡は真っ黒なままのはずですね。 しかし、光が十分な明るさを持っていた場合、鏡の表面に付着していたゴミ・ホコリ・汚れなどが、真っ暗な鏡の面の上でそこだけ光って見えます。 これが「暗視野照明による観察」です。照明光の元来た方向とはほとんど無関係に、あらゆる方向に光を散乱(乱反射)するようなものだけが光って見えるのです。平坦部は暗く、逆に非常に微小なものがくっきり浮かび上がりコントラスト良く観ることができるようになります。 では、「明視野照明による観察法」は、というと、普通に照明光が観察対象に当たった後の反射光(透過光)を直接観察することを言います。 ところで、先に紹介した写真でNP-1は手前側に大きな光のムラが出来ていましたね。NP-1は円筒形の光を発するので、低い角度であてても面に沿って照射することができず、手前部分では表面に強い反射が起こるからです。 |
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