※CS−CUTEとは、NSFの前の名称です。仕様は変わっていません。
クリーン化導入の評価用にCS-CUTEを使って実験しました。
前面にビニールカーテンのついたアクリル製フード(W700×D500×H600mm)に、3種類のCS-CUTE を搭載可能な治具を取り付け、パーティクルを測定しました。
評価方法として無人無稼動の場合と顕微鏡を用いた有人作業の場合を垂直気流式、水平気流式の両方で行い比較をしています。
また、CS-CUTE-03A 、05Aについては前面のビニールカーテンを開放して作業を行った場合についても測定しました。
FFUのタイプ 垂直気流式 水平気流式 測定のグラフ
CS-CUTE-01A
考察−−−上の測定のグラフは−01A を搭載した場合の粒子数(0.5μm基準)です。外部環境は一般の事務所内で粒子数は約2〜30万個/cfです。垂直気流で無人の場合はほとんどパーティクルは検出せず、有人作業の場合もさほど変化はありません。一方、水平気流の場合、無人、有人作業時のいずれの場合も垂直気流式より多くのパーティクルが検出され、作業時にはポイントによっては2000個/cfを超えるパーティクルが検出されます。しかし、クラス10000レベルの清浄度であれば、十分に容認できる数値であり、水平方式の方がフードの製作費用などで比較的安価あることを考慮すれば、本方式は十分に採択できる範囲です。
CS-CUTE-03A
考察−−−上の測定のグラフは-03A を搭載した場合です。-03搭載時は、作業時でもパーティクル数の増加は多くありません。続いて前面のビニールカーテンを開放した場合についても評価しました。使用時の作業性を考えれば、目の前のカーテンは大変邪魔で、無いほうが望ましいですよね。ところが、垂直気流式では開放時にパーティクル数の増加が少ないにもかかわらず、水平気流式では、直接気流があたる測定点ではほとんどパーティクルは検出されませんが、それ以外ではパーティクルが多く検出され、気流風速によってパーティクル分布のバランスが偏ることが分かりました。垂直気流式と水平気流式の違いを認識する意味で有効なデーターです。
CS-CUTE-05A
考察−−−上の測定のグラフは05A の場合です。この場合でもほとんどパーティクルが検出されません。水平気流式においてカーテンを開放してもパーティクル数は増加しません。この理由は−05Aの吹き出し口が長方形のため作業エリアのほとんどで層流になっているとからだと考えられます。このことから、従来ではクリーンベンチが必要とされていたクラス100レベルのクリーン化が必要な場合にもCS−CUTEが適用可能でローコスト化が見込めます。
上記実験の測定ポイントと配置です。
もちろん、直接的に簡易クリーンベンチやクリーンブースの用途としてCS-CUTEを搭載することも有効ですが、ここでは、クリーン化導入時の評価用として使用する場合について述べています。CS-CUTEシリーズ は、さまざまな条件でのクリーン化の要求に手軽に検証することが可能です。より大きな工程でクリーン化が必要とされる場合、まず少ない予算・小さなエリアでクリーン化を評価して後、全体の費用対効果を評価することができます。
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