クリーンエア＋イオン発生器＝除塵＆除電。イオン発生器「CS-JJ」

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イオン発生器「CS-JJ」


◆クリーン機器と組み合わせる除電装置「ＣＳ－ＪＪ」
ＣＳ－ＪＪはシーズシーが開発したクリーン化機器用のイオナイザーです。これは単独使用を前提としたイオナイザーではありません。CS-JJはエアシャワーやHEPAフィルターユニットと組み合わせて使用するクリーンエリア専用の除電装置です。機能はシンプルに＋と－のイオンをバランスよく発生させるだけです。あとは、クリーン化機器の清浄化された風に乗せてイオンを運び、除電します。静電気付着防止にイオナイザーを使用するとき、従来のイオナイザーは除電機能を優先させるものが多く、静電気によるホコリ付着の防止という点では、首をかしげざるを得ないような・・・すなわち、あまりにも強すぎる風でクリーン機器の機能を邪魔するような仕様でクリーンエリアの気流を乱し逆効果を生んでいることがあります。また、ホコリが風で舞いますし、微小なホコリは除電してもそのままくっついていることも多々あります。そこで、シーズシーは除電装置とクリーン機器のあるべき姿を実現するため、「CS-JJ」という新しいコンセプトを持った商品を作りました。すなわち、クリーン空間で除電するというコンセプトです。微量なホコリの静電気付着を防ぐには、まず、空間からホコリをなくすこと、気流を制御すること（この2つはクリーン化の大切な要素です）が必須ですが、ワークを除電し、帯電したホコリを中和することももちろん有効です。CS-JJはクリーン機器の気流や清浄エアの邪魔をすることなく、共存を図り最大限の効果を発揮します。主にクラス1万環境のクリーンブース、クリーンベンチ、エアシャワーなどでお使いください。対象となる静電気は数ＫＶ→０．２ＫＶ以下を目安としてください。

◆クリーンエリアでの除電について／従来のイオナイザーの問題点

クリーンエリアでの静電気対策は、主に対策エリアにあるものを静電気を速やかに拡散する表面抵抗値にそろえてアースに逃がす方法を採りますが、対象物が静電気を帯びやすい絶縁物であったり、アースの取れない空中にある場合、また、ワークを摩擦するなど工程自体が静電気が発生しやすい場合には物質の静電気が除去する方法として、イオンを発生させて静電気を除去する装置を使用します。いわゆる、イオナイザーです。しかし、一般的にイオナイザーには以下のような問題点があると言われています。

・イオンの寿命が短く（約２秒）、到達エリアが狭い。
・その弱点をカバーするためファン付のもの、圧縮エアを使用するものがあるが、クリーンエアに影響がある。
・発塵する。（そのメカニズムには諸説があるようです）
・昇圧にコイルを使用するため、大きくて重い。
・メンテナンスに手間がかかる。

CS-JJのコンセプト

クリーンエア＋イオン発生器＝クリーン空間除電。ＣＳ－ＪＪはＦＦＵ（ファンフィルターユニット）やエアシャワーなどのクリーン機器と併用することを前提に設計されています。従来であれば、イオナイザーとクリーンユニットの両方にファンがあったりしましたが、そのような余分な機能を省略し、逆にクリーンエアとの相性が最適な安価で小型軽量の手軽に使えるユニットにしました。

CS-JJのメリット

CS-JJはある意味従来のイオナイザーとはまったく違う製品です。それは大きなメリットもありますが逆にデメリットもあります。ご検討の方はよくご理解のほどよろしくお願いします。

・CS-JJはコイルではなく、圧電素子を使って昇圧するため小型・軽量です。

・正負イオンをバランスよく発生させることができます。

・連続、1S（秒）、2S（秒）の3つのモードで運転することができます。

・針先に触っても感電しません。

・FFUやエアシャワーの気流に乗せて使うことで機械的な再現性があります。

CS-JJのデメリット

CS-JJにはよく一般のイオナイザーに付属しているフィードバック機能はついておりません。よって、除電までの時間がフィードバック機能付きのイオナイザーと比較するとやや長くかかります。また、除電後のオフセット電圧が状況によっては高くなる傾向があります。特に以下の条件ではお使いにならないようにお願いします。

・100V以下の管理が必要とされる分野（液晶、HDD、半導体など）
・防爆対策が必要とされる分野
・10KV以上の大きな帯電が発生する分野（フィルム加工、高電圧エリアなど）

CS-JJの使い方

　ＣＳ－ＣＵＴＥなどのクリーンユニットに取り付けて使う場合

クリーンベンチやミニエンなどFFUとCS-JJを組み合わせて使用すれば、クリーン＋除電の空間を得ることが出来ます。

【FFUと組みあわて使うメリット】

・FFUの風に乗せて機械的な再現性を得るため、安定した性能を維持することができます。
・CS-JJは小型で軽量のため簡単に取り付けることができます。

※別売の取り付け治具でＦＦＵの吹き出し口近く（四隅；2式）に取り付けてください。

CS-CUTE-13Bに搭載


【簡易クリーンベンチ実験レポート】～簡易クリーンベンチでのCS-JJを使った「静電気減衰時間」を調べる～下の写真のように簡易クリーンベンチ（シーズシー製FFU；CS-CUTE-05A×１台搭載）の吹き出し口にCS-JJを2式取り付け、チャージプレートモニターを使用し、±5000V→±100Vの減衰時間（秒）を調べた。また、前面の塩ビ製の垂れ壁のあるなしの場合の変化も確認した。

【実験の結果と考察】上の表のように、良好な除電効果が確認されました。別途他社製イオナイザーと比較した実験ではCS-JJの方が減衰時間は若干余計にかかるものの実践的にはほとんど影響がない程度と思われます。逆にエアバー式イオナイザーやブロアタイプのイオナイザーはクリーンベンチの気流を無視したかのような風を出すので、除電は早くてもクリーンベンチの中の清浄度に影響が出る可能性があります。

【ミニエン　除電実験レポート】～簡易クリーンブースでのCS-JJを使った「静電気減衰時間」を調べる～下の写真のように簡易クリーンベンチ（シーズシー製FFU；CS-CUTE-13B×1台搭載）の吹き出し口にCS-JJを2式取り付け、チャージプレートモニターを使用し、±5000V→±100Vの減衰時間（秒）を調べた。比較のため、他社バータイプ（エア吹き出しなし、フィードバック機能なし）の減衰時間も調べた。

【結果と考察】上の表のように他社製品とほぼ同様の除電性能が確認された。コスト差を考えるとCS-JJ方がメリットがあると考えられる。さらに別の実験でJJと他社イオナイザーを同時に運転したが、減衰時間はほとんど変化せず、結果として発生イオン量が多ければ良いものであるというわけではないことが分かる。


エアシャワーで除電
シーズシー製エアシャワーはすべての機種においてオプションとしてCS-JJを取り付けできます。また、既設のエアシャワーでもほとんどの場合、後付工事でCS-JJを取り付けることが可能です。いくらエアシャワーの風速が台風並みといっても、風の力だけでは静電気によるゴミの付着を完全に除去することは難しいといえます。除電装置を追加したからと言って、静電気付着したホコリの除去率は変わりませんが、せっかく落としたホコリが静電気の力で再度付着することを防止する効果は高くなります。

【シーズシー製エアシャワーとCS-JJ】シーズシー製エアシャワーではすべての機種にCS-JJをオプションとして内蔵式で取り付けることが可能です。現地で面倒な調整も不要で、除電機能付エアシャワーとしてご利用いただけます。

【既設のエアシャワーの外付けについて】既設エアシャワーへの後付の場合、現地での現地工事・調整に手間がかかるため、簡単な外付け方式を推奨します。内蔵式の場合、微妙な位置関係でエアシャワーの鋼板がイオンを吸収してしまい効果が出にくいことがあります。 ※アイビーキャッチャーがあると取れるホコリ量に変化が確認できることも・・・

【エアシャワーでの減衰時間の調査】チャージプレートモニターを使用して±1000V→±100Vの減衰時間を調べました。結果は約２秒程度。もちろん、CS-JJをOFFの場合は全く除電できません。また、エアシャワーではFFUの場合よりも風速が早い分、早く除電が可能です。要注意なのは、静電気を除去したからと言って静電気付着したものの除去率がよくなるわけではないということです。そのままでは除電できるだけで除塵率はほとんど変わりません。

【エアシャワー内の除電は再付着防止に効果がある】繰り返しますが、右表のようにエアシャワーのみの場合とエアシャワー＋CS-JJの場合ではほとんど、除去率（表中は残存率）は変わりません。しかし、エアシャワー内でブラシを使った場合ではCS-JJの有無で大きく除去率が変化します。これはブラシで除塵＝静電気の発生による再付着の状態から再付着を防止して除去率を高めているものと推察されます。

簡易エアシャワーCASユー81Pでも除電を確認

写真は中央部2つの吹き出し口にCS-JJをセットした、簡易エアシャワー「CASユーー81P」です。エアシャワーの風にイオンを乗せてクリーンアップと同時に除電も行います。実験はJチェッカーを帯電させ、CASユーのエアジェットを起動させてみました。タイマーは5秒ですが、十分に除電することが出来ました。

除電のチェックを「Jチェッカー」で簡単に確認！！
				除電確認用の「Jチェッカー」。静電気が帯びやすいテフロンのテープを5mm間隔で切ってスダレにしたものです。指で軽くはさんで引っ張るとたちまち静電気が起こり、同極の静電気が発生すると反発する原理によってタコ足のように広がります。また、発塵しない紙を使用し、以前使用していたホッチキスも止めてクリーンルームで使用可能な仕様です。

コラム
クリーン化と静電気対策について・・・静電気とホコリ付着の仕組みとその対策をご紹介します。　クラス1万の静電気付着対策について・・・クラス1万（ISOクラス7）前後でクリーンエリアを管理者を対象に。　静電気実験レポート・・・静電気に関する実験結果をレポートします。　静電気付着対策フローチャート・・・状況別の対策と必要アイテムをご案内します。　静電気対策品の効果・・・静電気対策品の実験レポートを公開しています。

関連商品

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または電話078-252-7201/ＦＡＸ078-252-7210へ


【簡易クリーンベンチ実験レポート】～簡易クリーンベンチでのCS-JJを使った「静電気減衰時間」を調べる～下の写真のように簡易クリーンベンチ（シーズシー製FFU；CS-CUTE-05A×１台搭載）の吹き出し口にCS-JJを2式取り付け、チャージプレートモニターを使用し、±5000V→±100Vの減衰時間（秒）を調べた。また、前面の塩ビ製の垂れ壁のあるなしの場合の変化も確認した。

【実験の結果と考察】上の表のように、良好な除電効果が確認されました。別途他社製イオナイザーと比較した実験ではCS-JJの方が減衰時間は若干余計にかかるものの実践的にはほとんど影響がない程度と思われます。逆にエアバー式イオナイザーやブロアタイプのイオナイザーはクリーンベンチの気流を無視したかのような風を出すので、除電は早くてもクリーンベンチの中の清浄度に影響が出る可能性があります。

【ミニエン　除電実験レポート】～簡易クリーンブースでのCS-JJを使った「静電気減衰時間」を調べる～下の写真のように簡易クリーンベンチ（シーズシー製FFU；CS-CUTE-13B×1台搭載）の吹き出し口にCS-JJを2式取り付け、チャージプレートモニターを使用し、±5000V→±100Vの減衰時間（秒）を調べた。比較のため、他社バータイプ（エア吹き出しなし、フィードバック機能なし）の減衰時間も調べた。

【結果と考察】上の表のように他社製品とほぼ同様の除電性能が確認された。コスト差を考えるとCS-JJ方がメリットがあると考えられる。さらに別の実験でJJと他社イオナイザーを同時に運転したが、減衰時間はほとんど変化せず、結果として発生イオン量が多ければ良いものであるというわけではないことが分かる。

イオン発生器「CS-JJ」

◆クリーン機器と組み合わせる除電装置「ＣＳ－ＪＪ」

◆クリーンエリアでの除電について／従来のイオナイザーの問題点