【気流可視化装置
ミストストリームの紹介】
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気流を見える化する「ミストストリーム」でダストが滞留しやすい場所を発見!
シーズシーではクリーンルーム内で気流を可視化する気流可視化装置ミストストリームを開発しました。この装置は、超音波式霧化装置とファンフィルターを内蔵し、約5μm粒径を中心とした微小なミストを発生させます。
この装置を使用すれば、クリーンルーム内の見えない気流の影響や陰圧・陽圧・室間差圧などを確認することが可能です。
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【障害物による気流の滞留が
ゴミ不良の原因?】
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気流の見える化でダストがなぜ付着するのかを知る。
ミストストリームでクリーンベンチ内の気流を見てみましょう。クリーンベンチの中に障害物があるとき、気流の滞留域が生まれ、そこでダストが付着しやすくなります。
ここで、紙袋を取り除いてみましょう。気流の滞留はどのように変わるのでしょうか?
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【クリーンベンチの気流を可視化する】
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気流の見える化でダストがなぜ付着するのかを知る。
クリーンベンチ内では常に同じ方向へ同じ速さでクリーン化された 空気がトコロテンのように流れています。
ミストストリームでクリーンベンチの気流を可視化し、障害物を置いて気流の様子を観察してみましょう。
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【熱による上昇気流を見る】
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クリーンルームの中では熱による上昇気流もダストを拡散させる要因の一つです。
ポラリオン クリーンルーム ライトのヘッド部はかなりの熱を持ちます。ここには熱による上昇気流が発生します。気流可視化装置ミストストリームで確認しまし
ょう。
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【水平気流式クリーンベンチ
(Pタイプベンチ)での気流】
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ミストストリームで簡易ベンチの気流を確認。
水平気流式クリーンベンチ「Pタイプベンチ」は非常に簡易型のクリーンベンチですが、外部の汚れた空気を室内に入れず、内部をクリーンに保つことができます。気流可視化装置を使ってその様子を
確認しましょう。
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